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公开(公告)号：CN103944531B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201410017442.7
申请日：2014-01-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小幡直久
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够抑制由加速度等外力引起的振动特性的变化，从而发挥稳定的振动特性。振动元件（1）具有：压电基板（2），其具有振动部（21）和厚度比振动部（21）厚的厚壁部（22）；以及设置在振动部（21）的正面和背面的一对激励电极（31、32）。此外，厚壁部（22）具有沿着振动部（21）的第2外缘（213）设置的第2厚壁部（24）。第2厚壁部（24）在俯视振动元件（1）时与固定部（29）侧相反一侧的端部上包含外缘部（243），该外缘部（243）与X轴和Z’轴这两个轴交叉。
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公开(公告)号：CN104079255A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410106982.2
申请日：2014-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02023 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/02062 , H03H9/172 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够降低由加速度等外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性。振动元件（1）具有包含振动部（21）和厚度比振动部（21）厚的厚壁部（22）的压电基板（2）。此外，厚壁部（22）具有沿着振动部（21）的第1外缘（211）设置的第1厚壁部（23）、沿着第2外缘（212）设置的第2厚壁部（24）以及沿着第3外缘（213）设置的第3厚壁部（25），在压电基板（2）的连接第2厚壁部（24）和第3厚壁部（25）的角部上，设有分别相对于X轴方向和Z’轴方向这两个方向倾斜的第1倾斜外缘部（26）。
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公开(公告)号：CN104079254A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410104441.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/172 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/0538 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件（1）具有压电基板（2），该压电基板（2）包含振动部（21）和厚度比振动部（21）厚的厚壁部（22）。并且，厚壁部（22）具有：沿着振动部（21）的第1外缘（211）设置的第1厚壁部（23）、沿着第2外缘（212）设置的第2厚壁部（24）、以及沿着第3外缘（213）设置的第3厚壁部（25），当设第2厚壁部（24）在振动方向的最大尺寸为Lmax，最小尺寸为Lmin时，平均尺寸（Lmax＋Lmin）/2为100μm以下。
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公开(公告)号：CN103944531A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410017442.7
申请日：2014-01-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小幡直久
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够抑制由加速度等外力引起的振动特性的变化，从而发挥稳定的振动特性。振动元件（1）具有：压电基板（2），其具有振动部（21）和厚度比振动部（21）厚的厚壁部（22）；以及设置在振动部（21）的正面和背面的一对激励电极（31、32）。此外，厚壁部（22）具有沿着振动部（21）的第2外缘（213）设置的第2厚壁部（24）。第2厚壁部（24）在俯视振动元件（1）时与固定部（29）侧相反一侧的端部上包含外缘部（243），该外缘部（243）与X轴和Z’轴这两个轴交叉。
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公开(公告)号：CN102904547A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210254019.X
申请日：2012-07-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/326 , H01L41/053 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/16195 , H03H9/02897 , H03H9/058 , H03H9/0585 , H03H9/25 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供SAW器件、SAW振荡器以及电子设备，能够分别以较高的水平实现老化特性、接合强度和平行度的各要素。SAW器件（1）具有在压电基板（21）上形成了IDT（22）的SAW芯片（2）、支承SAW芯片（2）的底座基板（311）、和将SAW芯片（2）固定到底座基板（311）的固定部件（4）。SAW芯片（2）在其平面视图中，在不与IDT（22）重叠的位置处经由固定部件（4）被单侧支承到底座基板（311）。在设y轴方向上的SAW芯片（2）的长度为W、y轴方向上的固定部件（4）的长度为（D）时，满足1＜D/W≤1.6的关系。此外，固定部件（4）设置成对SAW芯片（2）的固定端（28）的下表面（281）以及侧面（282a、282b）和底座基板（311）进行接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107204743B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN201710116917.1
申请日：2017-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振荡器、电子设备和移动体，振荡器能够用于从开始供给电源起的早期要求高频率精度的电子设备和移动体。一种振荡器，其是温度补偿型振荡器，在该振荡器中，包含振动片、振荡用电路以及温度补偿电路，在基准温度状态下，相对于开始供给电源时的频率的频率偏差在从开始供给电源起经过10秒时为±8ppb以内，在从开始供给电源起经过20秒时为±10ppb以内，在从开始供给电源起经过30秒时为±10ppb以内。
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公开(公告)号：CN105281700B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201510404180.4
申请日：2015-07-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，所述振动元件能够降低共振频率附近的不必要寄生振荡的产生，所述振子具有该振动元件。振动元件1包含：基板，其包含彼此处于正背关系的第1主面和第2主面；第1激励电极，其设置于第1主面；第2激励电极，其设置于第2主面；以及第1引出电极，其设置于第1主面，与第1激励电极连接，第1引出电极包含：第1电极部；以及第2电极部，其从第1电极部沿第1方向延伸，与第1激励电极连接，第2电极部的与第1方向交叉的第2方向的宽度比第1电极部窄，在将第1激励电极的面积设为S1，将第2电极部与第2激励电极重叠部分的面积设为S2时，满足(S2/S1)≤0.1。
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公开(公告)号：CN102403979B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201110264418.X
申请日：2011-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小幡直久
CPC classification number: H03H9/02551 , H01L41/04 , H03H9/0542 , H03H9/14594
Abstract: 本发明提供一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置。在具有如下曲线的频率温度特性的声表面波器件中，对应于工作温度范围而将频率温度特性调节至最佳，所述曲线具有极大值、极小值以及两者之间的拐点。声表面波器件(1)在欧拉角(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，|ψ|≠90°×n(但是，n＝0，1，2，3))的水晶基板(2)的主面上具有：IDT(3)，其激振阻带上限模式的瑞利波(波长：λ)；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指之间，其中，通过IDT线占有率η和电极指间槽深度G与波长λ相关而满足预定的关系，从而具有在工作温度范围内具有极大值、极小值以及两者之间的拐点的三次曲线的频率温度特性，并且可以通过IDT线占有率η而在工作温度范围内将拐点调节在所希望的温度或温度区域内。
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公开(公告)号：CN102403980A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110264421.1
申请日：2011-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02834 , H03H9/02551 , H03H9/02661 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置。在具有于工作温度范围内具有极大值和极小值、和两者之间的拐点的、曲线的频率温度特性的SAW器件中，抑制由于制造误差而可能在个体之间产生的频率温度特性的偏差及劣化。SAW器件(1)在欧拉角(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，|ψ|≠90°×n(但是，n＝0，1，2，3))的水晶基板(2)的主面上，具有：IDT(3)，其激振阻带上限模式的瑞利波(波长：λ)；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指之间，其中，通过使电极指间槽的深度G为0.01λ≤G≤0.07λ，并使电极指膜厚H和IDT线占有率η满足预定的关系，从而频率温度特性常时在工作温度范围内，于极大值和极小值之间具有拐点，并且抑制由于IDT线占有率η的制造误差而导致的拐点温度的变动。
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公开(公告)号：CN107017863B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201610846261.4
申请日：2016-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小幡直久
Abstract: 本发明提供振动器件、振荡器、电子设备以及移动体。振动器件包含：基板；振动片，其包含基材和一对激励电极，该一对激励电极包含第1金属层和第2金属层；以及第1接合部件和第2接合部件，在设第1接合中心与第2接合中心之间的距离为L1、从设振动区域中心引垂直于连结第1接合中心与第2接合中心的假想线的垂线的长度为L2、设第1金属层的线膨胀系数为α1、将第2金属层的线膨胀系数为α2、设基材的线膨胀系数为α3、设振动片的所述第1方向的长度尺寸为L3时，满足0
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