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公开(公告)号：CN110114221B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201780078445.3
申请日：2017-12-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。该MEMS装置(记录头3)的特征在于，具备：第一基板(压力室形成基板29)，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件(振动板31)；第二基板(密封板33)，其以相对于第一基板(压力室形成基板29)而隔开间隔的方式被配置；粘合层(43)，其将第一基板(压力室形成基板29)和第二基板(密封板33)粘合在一起，在第一基板(压力室形成基板29)的面内方向上，薄膜部件(振动板31)的端缘被延伸设置至与第一基板(压力室形成基板29)的端缘相比靠外侧处。
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公开(公告)号：CN108656748B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201810159607.2
申请日：2018-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/047
Abstract: 本发明提供一种在抑制大型化的同时抑制了对置的配线间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷出装置。压电器件(致动器单元14)具有：第一基板(压力室形成基板29、振动板31)，其具备压电体层(38)以及至少一部分层压在压电体层(38)上的第一配线(上电极层39)；以及第二基板(密封板33)，其具备被施加与第一配线(上电极层39)不同的电信号的第二配线(下表面侧配线47)，第一配线(上电极层39)与第二配线(下表面侧配线47)以隔开间隔的方式对置，所述压电器件(致动器单元14)的特征在于，第一配线(上电极层39)和第二配线(下表面侧配线47)中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层(55)覆盖。
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公开(公告)号：CN105375815A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510477540.3
申请日：2015-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0475 , B25J9/12 , B25J17/00 , H01L41/042 , H01L41/0472 , H01L41/09 , H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/0085 , H02N2/103 , H02N2/14 , H02P25/032 , H02P25/16 , H02P25/32 , Y10S901/28
Abstract: 本发明涉及压电驱动装置、机器人以及它们的驱动方法。在压电元件的电极焊接线状的导线的配线结构中需要用于导线的空间，另外，配线作业中容易断线。压电驱动装置具备振动板、以及具有基板和设置在上述基板上的压电元件的压电振动体。压电元件具有第1电极、第2电极和压电体，在基板上，第1电极、压电体、和第2电极按照该顺序被层叠。以基板和振动板夹着压电元件的方式将压电振动体设置在振动板上。在振动板上形成有包括与第1电极对应的第1配线和与第2电极对应的第2配线的配线图案，第1电极和第1配线经由第1层叠导电部经由连接，第2电极和上述第2配线经由第2层叠导电部连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110114221A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201780078445.3
申请日：2017-12-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。该MEMS装置(记录头3)的特征在于，具备：第一基板(压力室形成基板29)，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件(振动板31)；第二基板(密封板33)，其以相对于第一基板(压力室形成基板29)而隔开间隔的方式被配置；粘合层(43)，其将第一基板(压力室形成基板29)和第二基板(密封板33)粘合在一起，在第一基板(压力室形成基板29)的面内方向上，薄膜部件(振动板31)的端缘被延伸设置至与第一基板(压力室形成基板29)的端缘相比靠外侧处。
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公开(公告)号：CN107546320A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710481252.4
申请日：2017-06-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/277 , B81B7/02 , B81C1/00 , H02N2/10
Abstract: 本发明提供一种电压下降等得到抑制的输出较高的MEMS装置、压电致动器、以及超声波电机。MEMS装置的特征在于，从基板(24)的第一面(39)侧起依次层叠了第一电极层(28)、压电体层(29)、以及第二电极层(30)而构成，在基板(24)的与第一面(39)相反的一侧的第二面(40)上层叠有第一配线层(28)，第一电极层(28)与第一配线层(34)经由贯穿基板(24)的贯穿配线(37)而被连接。
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公开(公告)号：CN107068850A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710059759.0
申请日：2017-01-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/09 , B25J9/12 , B25J17/00 , F04B17/003 , F04B43/095 , H01L41/0471 , H01L41/0475 , H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/103 , Y10S901/19 , H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/22
Abstract: 本发明提供具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好、可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置，具备：振动板；第一电极层，设置于振动板上方；压电体层，设置于第一电极层上方；第二电极层，设置于压电体层上方；绝缘层，设置成覆盖第一电极层、压电体层及第二电极层的上表面；布线层，设置于绝缘层上方并与第二电极层导通，在第一电极层、压电体层及第二电极层重叠的部分形成有源部，有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在短边方向的两端，第一电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠外侧的位置，第二电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠内侧的位置，第一电极层的端被配置在比第二电极层的端靠外侧的位置。
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公开(公告)号：CN107068850B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201710059759.0
申请日：2017-01-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好、可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置，具备：振动板；第一电极层，设置于振动板上方；压电体层，设置于第一电极层上方；第二电极层，设置于压电体层上方；绝缘层，设置成覆盖第一电极层、压电体层及第二电极层的上表面；布线层，设置于绝缘层上方并与第二电极层导通，在第一电极层、压电体层及第二电极层重叠的部分形成有源部，有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在短边方向的两端，第一电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠外侧的位置，第二电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠内侧的位置，第一电极层的端被配置在比第二电极层的端靠外侧的位置。
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公开(公告)号：CN108656748A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810159607.2
申请日：2018-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/047
Abstract: 本发明提供一种在抑制大型化的同时抑制了对置的配线间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷出装置。压电器件(致动器单元14)具有：第一基板(压力室形成基板29、振动板31)，其具备压电体层(38)以及至少一部分层压在压电体层(38)上的第一配线(上电极层39)；以及第二基板(密封板33)，其具备被施加与第一配线(上电极层39)不同的电信号的第二配线(下表面侧配线47)，第一配线(上电极层39)与第二配线(下表面侧配线47)以隔开间隔的方式对置，所述压电器件(致动器单元14)的特征在于，第一配线(上电极层39)和第二配线(下表面侧配线47)中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层(55)覆盖。
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