电光学装置的制造方法、电光学装置以及电子机器

    公开(公告)号:CN100470825C

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200510006458.9

    申请日:2005-02-01

    CPC classification number: H01L51/5237 H01L27/1214 H01L51/5253

    Abstract: 本发明提供一种电光学装置的制造方法、电光学装置以及电子机器。电光学装置(1),在基体(200)上具有第1电极(23)、第2电极(50)、第1电极(23)与第2电极(50)之间夹持的电光学层(110)。在该电光学装置(1)的制造方法中,包含将覆盖第2电极(50)的发光材料保护层(65)用真空蒸镀法形成的工序、和将覆盖发光材料保护层(65)的电极保护层(55)用等离子体成膜法形成的工序。这样,能够防止制造过程中发生的发光层的恶化。

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