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公开(公告)号：CN111751575A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010220543.X
申请日：2020-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。
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公开(公告)号：CN100334479C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN02123161.3
申请日：2002-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 提供一种耐久性好的光调制装置及其制造方法。利用由驱动电极(130)和微镜(220)之间的电位差所产生的静电力来倾斜驱动微镜(220)的光调制装置的制造方法，包含整体形成位于倾斜驱动微镜(220)时的支点处的支撑部(280)和成为倾斜驱动微镜(220)时的轴的轴部(230)。
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公开(公告)号：CN103376338A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310119001.3
申请日：2013-04-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 纸透真一
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0831
Abstract: 本发明提供一种物理量传感器及电子设备，该物理量传感器在可动体的上下设置电容元件，且能减小从各个固定电极至外部端子为止的布线路径长度之差。该物理量传感器包括：第一基板，其具备设置于第一基面上的第一固定电极部及贯穿表里的第一贯穿孔；第二基板，其具备设置于第二基面上的第二固定电极部及贯穿表里的第二贯穿孔，且以所述第一基面与所述第二基面对置的方式配置；可动体，其隔着间隙而配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具备与所述第一固定电极部及所述第二固定电极部对置的可动电极部，在所述第一贯穿孔中设置与所述第一固定电极部电连接的第一贯穿电极，在所述第二贯穿孔中设置与所述第二固定电极部电连接的第二贯穿电极。
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公开(公告)号：CN1221012C
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN02102774.9
申请日：2002-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/027 , H05B33/10
CPC classification number: H01L21/0337 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L21/0332 , H01L27/3244 , H01L51/0011
Abstract: 本发明的课题是，提供一种对构成有机EL元件的像素的薄膜图形能以对应于高精细像素的精度成膜的掩模。根据本发明的一种掩模，用于在被成膜面上按照规定图形形成薄膜，具有对应于上述图形的开口部，其特征在于：该掩模由单晶硅构成，上述开口部的尺寸在掩模的厚度方向规定位置即边界位置处对应于上述图形的尺寸，从上述边界位置朝向两个掩模面比上述图形增大，从上述边界位置到各掩模面的距离不同。
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公开(公告)号：CN1580837A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410056345.5
申请日：2004-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105584987A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510766226.7
申请日：2015-11-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 纸透真一
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00873 , B81B2201/0235 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/031
Abstract: 本发明提供一种减少了成品率的降低的可靠性较高的物理量传感器、能够容易地制造该物理量传感器且能够减少成品率的降低的物理量传感器的制造方法、具备所涉及的物理量传感器的电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：支承基板(2)；加速度检测元件(3)，其被搭载于支承基板(2)上；密封基板(5)，其被接合于支承基板(2)上，并用于对加速度检测元件(3)进行密封；在密封基板(5)中，于与支承基板(2)的接合面(531)的一部分处形成有切口部，在切口部中设置有填充材料(7)，该填充材料(7)由与构成密封基板(5)的材料不同的材料构成。
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公开(公告)号：CN101051096A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200410079178.6
申请日：2004-09-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01P1/20381
Abstract: 一种光学可调滤光器，包括：第一衬底，其具有光传输特性，并包括可动部分；第二衬底，其具有光传输特性，并设置为与第一衬底相对；第一间隙和第二间隙，它们分别设置在可动部分和第二衬底之间；干涉部分，其通过第二间隙引起可动部分和第二衬底之间的入射光的干涉；以及驱动部分，用于利用第一间隙通过相对于第二衬底移动可动部分来改变第二间隙的距离。这使得有可能提供一种具有简单结构和较小尺寸的光学可调滤光器，这样的光学可调滤光器可通过简化的制造过程进行制造而不使用释放孔，并能实现可动部分的稳定驱动，以及一种用于制造这样的光学可调滤光器的方法。
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公开(公告)号：CN1624500A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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公开(公告)号：CN1395128A
公开(公告)日：2003-02-05
申请号：CN02123161.3
申请日：2002-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 提供一种耐久性好的光调制装置及其制造方法。利用由驱动电极130和微镜220之间的电位差所产生的静电力来倾斜驱动微镜220的光调制装置的制造方法，包含整体形成位于倾斜驱动微镜220时的支点处的支撑部280和成为倾斜驱动微镜220时的轴的轴部230。
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公开(公告)号：CN103376338B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201310119001.3
申请日：2013-04-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 纸透真一
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0831
Abstract: 本发明提供一种物理量传感器及电子设备，该物理量传感器在可动体的上下设置电容元件，且能减小从各个固定电极至外部端子为止的布线路径长度之差。该物理量传感器包括：第一基板，其具备设置于第一基面上的第一固定电极部及贯穿表里的第一贯穿孔；第二基板，其具备设置于第二基面上的第二固定电极部及贯穿表里的第二贯穿孔，且以所述第一基面与所述第二基面对置的方式配置；可动体，其隔着间隙而配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具备与所述第一固定电极部及所述第二固定电极部对置的可动电极部，在所述第一贯穿孔中设置与所述第一固定电极部电连接的第一贯穿电极，在所述第二贯穿孔中设置与所述第二固定电极部电连接的第二贯穿电极。
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