公开(公告)号：CN103895347A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201310722229.1

申请日：2013-12-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 长门谷贤 ,  内藤信宏 ,  若松康介 ,  中村宙哉

IPC: B41J2/14

CPC classification number: B41J2/1433 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/164 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419

Abstract: 本发明提供喷嘴板、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明的硅喷嘴板的喷嘴开口内表面、排出面的耐液性优异。在喷嘴板的硅基板设置有多个喷嘴开口。在所述硅基板的两面以及所述喷嘴开口的内表面设置有通过原子层堆积的方式而形成的氧化钽膜。

公开(公告)号：CN103895347B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201310722229.1

申请日：2013-12-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 长门谷贤 ,  内藤信宏 ,  若松康介 ,  中村宙哉

IPC: B41J2/14

CPC classification number: B41J2/1433 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/164 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419

Abstract: 本发明提供喷嘴板、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明的硅喷嘴板的喷嘴开口内表面、排出面的耐液性优异。在喷嘴板的硅基板设置有多个喷嘴开口。在所述硅基板的两面以及所述喷嘴开口的内表面设置有通过原子层堆积的方式而形成的氧化钽膜。

公开(公告)号：CN108621576A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810209944.8

申请日：2018-03-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 忠地慧 ,  长门谷贤 ,  土屋宽之

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种能够提高阀的密封性以及耐久性的阀单元、液体喷射头、液体喷射装置、阀单元的制造方法、液体喷射头的制造方法、以及液体喷射装置的制造方法。该阀单元的特征在于，具备：流道部件(54)，其具有形成有液体流道的流道开口(64)的开口面(63)；阀(58)，其具有密封流道开口的密封面(74)，并使该密封面相对于开口面进行进退而对流道开口进行开闭；密封部件(73)，其被设置于开口面中的流道开口的开口周缘部和密封面中的与开口周缘部对置的部分中的任意一方上，并在阀关闭的状态下与流道开口的周缘部以及密封面相接，密封部件含有氟化聚醚。