公开(公告)号：CN101410754A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200780011476.3

申请日：2007-03-26

Applicant: 索尼德国有限责任公司 ,  于利奇研究中心有限公司

Inventor： J·韦塞尔斯 ,  安田章夫 ,  Z·卡里皮多 ,  A·施赖伯 ,  M·里德尔 ,  D·施瓦布 ,  D·迈耶 ,  A·奥芬豪瑟

IPC: G03F7/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本申请涉及在衬底上施加金属、金属氧化物和/或半导体材料的图案的方法，和通过这种方法形成的图案以及这类图案的用途。

公开(公告)号：CN101410754B

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN200780011476.3

申请日：2007-03-26

Applicant: 索尼德国有限责任公司 ,  于利奇研究中心有限公司

Inventor： J·韦塞尔斯 ,  安田章夫 ,  Z·卡里皮多 ,  A·施赖伯 ,  M·里德尔 ,  D·施瓦布 ,  D·迈耶 ,  A·奥芬豪瑟

IPC: G03F7/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本申请涉及在衬底上施加金属、金属氧化物和/或半导体材料的图案的方法，和通过这种方法形成的图案以及这类图案的用途。