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公开(公告)号:CN101419171B
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN200810171945.4
申请日:2008-10-24
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01N15/1425 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N2015/1006 , G01N2015/1438
Abstract: 本发明公开了一种用于微粒的光学检测方法和光学检测装置,所述装置包括:光照射部,被配置为将激光束照射到在流道中被连续输送的微粒中的一个上;以及光检测部,被配置为检测激光束照射的任何微粒所产生的荧光和/或散射光;所述方法包括以下步骤:将激光束照射到在流道中被连续输送的微粒中的一个上;并且检测微粒产生的荧光和/或散射光;其中,激光束被形成为这样的脉冲激光束,所述脉冲激光束的脉冲强度被调节,从而使得一个激光束或者具有不同波长的两个以上的激光束用变化的强度来多次照射一个微粒。
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公开(公告)号:CN100466064C
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN200610005058.0
申请日:2006-01-17
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 今西慎悟
IPC: G11B7/0045 , G11B7/125
CPC classification number: G11B7/261
Abstract: 一种原版盘制作设备,用于通过使用激光照射的热记录方法、在光学记录介质原版盘上形成基于记录数据的凹坑串。该原版盘制作设备包括:激光源装置,用于在基于第一记录数据的定时发射激光,以形成凹坑;光强控制装置,用于基于第二记录数据控制从激光源装置输出的激光的光强;以及光学系统装置,用于通过光强控制装置将激光引导到光记录介质原版盘上。
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公开(公告)号:CN101266926A
公开(公告)日:2008-09-17
申请号:CN200810000234.0
申请日:2008-01-24
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 今西慎悟
IPC: H01L21/268 , H01L21/20 , B23K26/02
CPC classification number: G03F7/70416 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/352 , B23K2101/36 , C21D1/09 , G03F7/70383
Abstract: 本发明公开了激光绘图方法和设备。本发明公开了一种激光绘图的方法,包括以下步骤:使来自光源的激光入射在声光衍射元件上,以及通过改变将被输入到元件中以使光发生衍射的高频信号的频率使入射到元件的光发生偏转,从而改变衍射光的衍射角,并使从元件出射的衍射光作为光点聚集在将被处理的对象上,从而使用光点来扫描对象。衍射光强度控制表被预先准备,该衍射光强度控制表用于控制衍射光的光强度以使之独立于衍射光的衍射角而保持恒定,并且在偏转步骤中,基于衍射光强度控制表来控制衍射光的光强度。
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公开(公告)号:CN101266926B
公开(公告)日:2010-04-21
申请号:CN200810000234.0
申请日:2008-01-24
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 今西慎悟
IPC: H01L21/268 , H01L21/20 , B23K26/02
CPC classification number: G03F7/70416 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/352 , B23K2101/36 , C21D1/09 , G03F7/70383
Abstract: 本发明公开了激光绘图方法和设备。本发明公开了一种激光绘图的方法,包括以下步骤:使来自光源的激光入射在声光衍射元件上,以及通过改变将被输入到元件中以使光发生衍射的高频信号的频率使入射到元件的光发生偏转,从而改变衍射光的衍射角,并使从元件出射的衍射光作为光点聚集在将被处理的对象上,从而使用光点来扫描对象。衍射光强度控制表被预先准备,该衍射光强度控制表用于控制衍射光的光强度以使之独立于衍射光的衍射角而保持恒定,并且在偏转步骤中,基于衍射光强度控制表来控制衍射光的光强度。
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公开(公告)号:CN1808584A
公开(公告)日:2006-07-26
申请号:CN200610005058.0
申请日:2006-01-17
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 今西慎悟
IPC: G11B7/0045 , G11B7/125
CPC classification number: G11B7/261
Abstract: 一种原版盘制作设备,用于通过使用激光照射的热记录方法、在光学记录介质原版盘上形成基于记录数据的凹坑串。该原版盘制作设备包括:激光源装置,用于在基于第一记录数据的定时发射激光,以形成凹坑;光强控制装置,用于基于第二记录数据控制从激光源装置输出的激光的光强;以及光学系统装置,用于通过光强控制装置将激光引导到光记录介质原版盘上。
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公开(公告)号:CN101533257A
公开(公告)日:2009-09-16
申请号:CN200910126094.6
申请日:2009-03-10
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G03H1/028 , G03H1/0011 , G03H1/0244 , G03H1/0891 , G03H2001/0296 , G03H2001/0478 , G03H2260/14 , G03H2270/52
Abstract: 本发明披露了全息基板、全息基板的制造方法以及电子设备,其中,该全息基板包括配置在其表面上的全息部,全息部具有被配置为形成全息图像的凹凸图样,其中,凹凸图样为深度调制图样并在凸部和凹部之间具有光滑边界。通过本发明,抑制了凸部和凹部之间边界的边缘处的散射损失,因此能够识别出更加清晰的全息图像。
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公开(公告)号:CN101419171A
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200810171945.4
申请日:2008-10-24
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01N15/1425 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N2015/1006 , G01N2015/1438
Abstract: 本发明公开了一种用于微粒的光学检测方法和光学检测装置,所述装置包括:光照射部,被配置为将激光束照射到在流道中被连续输送的微粒中的一个上;以及光检测部,被配置为检测激光束照射的任何微粒所产生的荧光和/或散射光;所述方法包括以下步骤:将激光束照射到在流道中被连续输送的微粒中的一个上;并且检测微粒产生的荧光和/或散射光;其中,激光束被形成为这样的脉冲激光束,所述脉冲激光束的脉冲强度被调节,从而使得一个激光束或者具有不同波长的两个以上的激光束用变化的强度来多次照射一个微粒。
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公开(公告)号:CN1284712A
公开(公告)日:2001-02-21
申请号:CN00124010.2
申请日:2000-08-11
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , G11B7/08511 , G11B7/0908 , G11B7/0945 , G11B7/1362 , G11B7/1365 , G11B7/1372 , G11B7/1381 , G11B7/26
Abstract: 本发明用来在例如通过近场记录(NFR)进行原盘曝光的曝光装置中进行近场记录时可靠进行聚焦控制。物镜根据盘形记录媒体反射的光和物镜出射面反射的光之间的干涉产生的干涉光束的光通量检测结果而移动。
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公开(公告)号:CN1280360A
公开(公告)日:2001-01-17
申请号:CN00120347.9
申请日:2000-07-07
Applicant: 索尼株式会社
Inventor: 今西慎悟
CPC classification number: G11B7/261 , B82Y10/00 , G03F7/70325 , G11B7/0908 , G11B7/122 , G11B7/1387
Abstract: 为了高精度地控制在近场区域中的间隙长度,曝光装置包括发射曝光激光的曝光光源(11);发射其波长与曝光激光不同的间隙长度控制激光的间隙长度控制光源(16);将间隙长度控制间隙投射到聚光镜(14)和固态浸没透镜(SIL)(15)的聚光镜(17a)、准直透镜(17b)和分色镜(12);和检测来自SIL(15)的出射表面(15b)的间隙长度控制激光的返回部分强度的光检测器(22)。于是,在曝光装置中,根据来自光检测器(22)的检测回光强度控制在SILL(15)和对象(100)之间的间隙。
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公开(公告)号:CN101726461A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200910205674.4
申请日:2009-10-16
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01J3/4406 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/10 , G01J3/14 , G01N21/6445 , G01N21/645 , G01N2021/6417 , G01N2021/6421 , G01N2021/6482
Abstract: 一种光学测量设备,包括:光施加部分,配置为向在通道中流动的样品施加激光;以及荧光检测部分,配置为检测从用激光照射的样品产生的荧光;荧光检测部分包括:具有多个检测通道能够同时检测多个光束的多通道光电倍增管,光分离器,配置为根据波长分离荧光以提供多个光束,通过透射光栅或棱镜提供光分离器,以及远心汇聚透镜,配置为从光分离器接收多个光束,并将该多个光束导向多通道光电倍增管的多个检测通道,使得该多个光束的光轴彼此平行。
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