公开(公告)号：CN101714567B

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN200910180112.9

申请日：2009-09-29

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 和野裕美 ,  谷国敬理 ,  吉田慎一

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14685 ,  H01L27/14603 ,  H01L27/14629

Abstract: 本发明提供了一种固体摄像装置，其包括用作像素的光接收部，以及波导，该波导布置于与光接收部对应的位置并包括覆层与在波导方向上具有折射率分布的被嵌入的芯层。根据本发明的固体摄像装置可以抑制漫反射和界面反射，提高了敏感度且可以抑制图像不均的出现。

公开(公告)号：CN101714567A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910180112.9

申请日：2009-09-29

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 和野裕美 ,  谷国敬理 ,  吉田慎一

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/82 ,  H04N5/335

CPC classification number: H01L27/14685 ,  H01L27/14603 ,  H01L27/14629

Abstract: 本发明提供了一种固体摄像装置，其包括用作像素的光接收部，以及波导，该波导布置于与光接收部对应的位置并包括覆层与在波导方向上具有折射率分布的被嵌入的芯层。根据本发明的固体摄像装置可以抑制漫反射和界面反射，提高了敏感度且可以抑制图像不均的出现。

公开(公告)号：CN101714563A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910176080.5

申请日：2009-09-28

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 和野裕美 ,  北野良昭

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/82 ,  G02B6/122 ,  H04N5/225

CPC classification number: H01L27/14818 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/14812

Abstract: 本发明公开了固体摄像器件及其制造方法以及电子装置，所述固体摄像器件包括：作为像素的感光部；以及各自包括中心层和覆层的波导部，每个波导部被设置在对应于一个感光部的位置处。在摄像面的水平方向上得到的波导部的截面结构与在摄像面的垂直方向上得到的波导部的截面结构不同。所述固体摄像器件制造方法包括如下步骤：循着层状结构形成覆层，所述层状结构被形成为使得对应于感光部的各个开口在摄像面的水平方向上的截面形状与对应于感光部的各个开口在摄像面的垂直方向上的截面形状不同；将覆层图形化；以及将中心层埋入到与感光部对应的开口中。本发明由于在波导部中不容易产生驻波，因而能抑制光谱波纹的出现，并且改善摄像特性。

公开(公告)号：CN101714563B

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN200910176080.5

申请日：2009-09-28

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 和野裕美 ,  北野良昭

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/82 ,  G02B6/122 ,  H04N5/225

CPC classification number: H01L27/14818 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/14812

Abstract: 本发明公开了固体摄像器件及其制造方法以及电子装置，所述固体摄像器件包括：作为像素的感光部；以及各自包括中心层和覆层的波导部，每个波导部被设置在对应于一个感光部的位置处。在摄像面的水平方向上得到的波导部的截面结构与在摄像面的垂直方向上得到的波导部的截面结构不同。所述固体摄像器件制造方法包括如下步骤：循着层状结构形成覆层，所述层状结构被形成为使得对应于感光部的各个开口在摄像面的水平方向上的截面形状与对应于感光部的各个开口在摄像面的垂直方向上的截面形状不同；将覆层图形化；以及将中心层埋入到与感光部对应的开口中。本发明由于在波导部中不容易产生驻波，因而能抑制光谱波纹的出现，并且改善摄像特性。