公开(公告)号：CN101521160B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN200910007907.X

申请日：2009-02-25

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： B·吕泽姆 ,  Z·卡里皮多 ,  J·维泽尔斯 ,  安田章夫

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/78 ,  H01L21/50 ,  H01L23/48

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10T428/24917

Abstract: 本发明涉及在衬底上施加金属、金属氧化物和/或半导体材料图案的方法、这种方法产生的图案和这种图案的用途。此外，本发明涉及可用于印刷的多层组合体。

公开(公告)号：CN101521160A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200910007907.X

申请日：2009-02-25

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： B·吕泽姆 ,  Z·卡里皮多 ,  J·维泽尔斯 ,  安田章夫

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/78 ,  H01L21/50 ,  H01L23/48

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10T428/24917

Abstract: 本发明涉及在衬底上施加金属、金属氧化物和/或半导体材料图案的方法、这种方法产生的图案和这种图案的用途。此外，本发明涉及可用于印刷的多层组合体。