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公开(公告)号：CN114038989B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202111196182.0
申请日：2021-10-14
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本申请提供一种用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法。在衬底表面形成铝金属薄膜层。通过第一掩膜对所述铝金属薄膜层进行图案化处理形成铝金属电路层。在所述铝金属电路层远离所述衬底的表面形成氧化铝薄膜层。在所述衬底的表面制备超导材料薄膜层，所述超导材料薄膜层覆盖所述氧化铝薄膜层以及所述衬底的表面。形成第二掩膜层，通过所述第二掩膜层对所述超导材料薄膜层进行图案化处理以获得图案化的超导材料电路层，所述超导材料电路层与所述铝金属电路层在所述衬底的投影部分重叠。清洗去除所述第二掩膜层，获得所述约瑟夫森结。上述制备方法，可以制备大面积的约瑟夫森结。
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公开(公告)号：CN118033659A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410170085.1
申请日：2024-02-06
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明实施例公开了一种目标追踪装置及方法，该装置包括脉冲激光器、单光子相机、扫描模块、扫描控制模块、信号采集模块和追踪模块，单光子相机采用第一视场角向外部进行大视场扫描，获取待测目标的目标光子信号，追踪模块根据目标光子信号提取待测目标的目标位置和二维运动轨迹，并获得第二视场角；扫描控制模块用于根据第二视场角控制扫描模块改变脉冲激光传输的方向，以使得扫描模块对待测目标进行小视场扫描；追踪模块用于根据同步信号和回波光子信号对待测目标进行追踪。本发明利用单光子相机探测到待测目标时引导脉冲激光对待测目标进行探测，这种主、被动结合探测方式可以实现对待测目标进行大视场下的快速、高追踪灵敏度、高精度地追踪。
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公开(公告)号：CN115856933A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211650498.7
申请日：2022-12-21
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
IPC: G01S17/894 , G01S7/483 , G01S7/48 , G01S7/4861
Abstract: 本发明实施例公开了一种高通量光子计数激光雷达成像装置及方法，该装置包括光束收发模块、扫描模块、控制模块、探测模块和数据处理模块，控制模块控制扫描模块改变脉冲激光输出的方向以实现待测目标的扫描；探测模块包括单光子探测器和时间相关单光子计数采集单元；同步信号采集通道与脉冲激光器连接以采集脉冲激光同步信号。本发明引入了具备光子数分辨能力的单光子探测器，可以实现对多个回波光子的同时探测，实现不同光子数的同时响应。本发明有效解决了传统光子计数激光雷达受到低通量弱光工作条件的限制，有效提高了高通量条件下的回波光子信息的采集效率，极大地减少了脉冲累积时间，可以实现更高动态范围和更快速的目标探测。
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公开(公告)号：CN115207202A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210531719.2
申请日：2022-05-16
Applicant: 南京大学 , 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明公开一种新型铌基约瑟夫森结的制备方法，属于低温超导技术领域，制备方法主要包含以下过程：清洗基片；光刻定义底电极区域；制备Nb底电极；剥离；制备Al‑AlOx‑Al势垒层；生长Nb顶层电极；再次光刻，定义结区和顶电极区域；反应离子刻蚀和离子束刻蚀；去胶。本发明通过微加工技术、真空镀膜技术和刻蚀技术制备铌基约瑟夫森结，简化了工艺；采用两次光刻的工艺制备铌基约瑟夫森结，减少了器件在制备过程中界面退化的可能性，简化了制备铌基约瑟夫森结的工艺，避免了复杂的加工流程，有利于约瑟夫森结的大规模制造和应用。
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公开(公告)号：CN111994867A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010764389.2
申请日：2020-08-02
Applicant: 南京大学 , 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于悬空掩模和生长薄膜法制备大面积可控纳米沟道的方法，准备一片450微米厚2英寸的单抛 硅片和一块有若干2微米宽度微桥结构的掩模版，在清洗后的硅片表面上首先旋涂一层LOR10B底层胶，在硅片上滴上LOR10B使胶能够完全覆盖在硅片上。本发明的一种基于悬空掩模和生长薄膜法制备大面积可控纳米沟道的方法，采用悬空掩模技术、角度蒸发生长薄膜法和反应离子刻蚀技术，制备出硅片上的纳米沟道；通过紫外曝光双层胶显影得到光刻胶悬空微桥，再通过电子束蒸发角度生长铝膜，得到铝膜的纳米间隙，最后使用铝薄膜作为掩模，通过反应离子刻蚀技术刻蚀硅片，去除铝膜后即可得到硅的纳米沟道，同时这种方法可以实现大规模量化生产，价格低廉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119860845A
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202510002459.3
申请日：2025-01-02
Applicant: 紫金山实验室
Abstract: 本申请涉及一种光谱装置和光谱标定与探测方法。光谱装置包括：单色仪模块，用于对宽带光信号进行分光，输出窄带单色光；第一探测光路模块，用于对窄带单色光进行光信号探测，得到第一探测信号；数据采集处理模块，用于采集第一探测信号的光子数信息，根据光子数信息获取宽带可调谐单色光，并根据宽带可调谐单色光进行光谱标定；单色仪模块，还用于对待测目标的光谱信号进行分光，输出光谱分布信号；第二探测光路模块，用于对光谱分布信号进行光信号探测，得到第二探测信号；数据采集处理模块，还用于采集光谱分布信号的到达光子信息，根据到达光子信息对待测目标进行光谱探测。采用本装置能够实现高精度的宽带可调谐单色光输出与光谱探测。
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公开(公告)号：CN115148890B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202210537121.4
申请日：2022-05-17
Applicant: 南京大学 , 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于金属掩膜的铌铝约瑟夫森结的制备方法，包括：金属掩膜遮挡部分衬底，沉积铝膜；铝膜氧化；磁控溅射沉积50nm铌膜；去除金属掩膜后，使用离子束刻蚀处理铌膜表面，露出其新的表面后，再次沉积160nm铌膜；光刻或电子束曝光显影确定结区和上电极图形；使用反应离子刻蚀即得到结区，然后在有机溶剂中去除光刻胶即可。该法采用金属掩膜、铌膜保护的方法制备约瑟夫森结，大大简化了超导量子电路中制备约瑟夫森结的工艺，突破了传统工艺制备约瑟夫森结时尺寸的限制，有效降低了有机试剂、水和空气对铝膜表面氧化势垒层的影响，有效提高了制备约瑟夫森结的成功率和可靠性。
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公开(公告)号：CN117879715A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311358291.7
申请日：2023-10-18
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本申请涉及一种信号处理方法、光通信接收机、通信设备、介质和产品。方法包括：获取待解调的数字电信号，数字电信号是通过兼具光子计数模式和线性模式的光电探测器进行光电转换之后得到的；根据数字电信号在各时隙的采样点幅度，得到各时隙对应的解调数据；根据各时隙对应的解调数据，得到数字电信号对应的通信数据。采用本方法能够提高星地空间光通信的可靠性。
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公开(公告)号：CN117040460A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311057881.6
申请日：2023-08-21
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明公开了一种约瑟夫森参量放大器及其制备方法，适用于放大器设计制备领域。通过解理技术从单晶中获得高质量二维介质材料片，并使其与平板电容下极板和接地平面紧密贴合，再通过制备平板电容上级板和超导量子干涉仪即可实现高性能约瑟夫森参量放大器的制备，本发明可有效避免生长介质层的缺陷问题，可以提高约瑟夫森参量放大器的性能，同时也降低了工艺复杂度和对制备设备的要求，提高了制备效率、极大地降低制备成本。
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公开(公告)号：CN115148890A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210537121.4
申请日：2022-05-17
Applicant: 南京大学 , 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于金属掩膜的铌铝约瑟夫森结的制备方法，包括：金属掩膜遮挡部分衬底，沉积铝膜；铝膜氧化；磁控溅射沉积50nm铌膜；去除金属掩膜后，使用离子束刻蚀处理铌膜表面，露出其新的表面后，再次沉积160nm铌膜；光刻或电子束曝光显影确定结区和上电极图形；使用反应离子刻蚀即得到结区，然后在有机溶剂中去除光刻胶即可。该法采用金属掩膜、铌膜保护的方法制备约瑟夫森结，大大简化了超导量子电路中制备约瑟夫森结的工艺，突破了传统工艺制备约瑟夫森结时尺寸的限制，有效降低了有机试剂、水和空气对铝膜表面氧化势垒层的影响，有效提高了制备约瑟夫森结的成功率和可靠性。
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