光掩模坯
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1124519C

    公开(公告)日:2003-10-15

    申请号:CN97196087.9

    申请日:1997-06-30

    CPC classification number: G03F1/32 Y10T428/3154 Y10T428/31612

    Abstract: 透射衰减嵌入相移光掩模坯包括至少一种聚合物材料,优选为一种无定形含氟聚合物,或一种掺有氟功能化的有机硅烷的无定形含氟聚合物,和有机硅酸酯,或其组合,此聚合物材料具有:a)在所选择的平版印刷波长在400nm以下时的折射率(n)范围在1.2~2.0,优选在1.26~1.8的范围;和(b),在所选择的平版印刷波长在400nw以下时的消光系数(k)范围在0.04~0.8,优选在0.06~0.59的范围。

    用于确定气体积聚速率的方法

    公开(公告)号:CN1636135A

    公开(公告)日:2005-07-06

    申请号:CN02809357.7

    申请日:2002-05-01

    Abstract: 本发明涉及一种同时确定聚合物样品的渗透速率和解吸速率的方法,此方法包括:采用测试样品将第一体积与第二体积密封式地分开,所述样品充满有气体或蒸气的第一同位素;在所述第一体积中引入所述气体或蒸气的第二同位素,所述第二同位素可与所述第一同位素可检测地区分开;在所述第二体积中,将所述气体或蒸气的两种所述同位素的分压调节到与所述第一体积中的所述气体或蒸气的所述第二同位素的分压相比为可忽略的值;以及,可区分地检测所述第二体积中的所述渗入物的各所述扩散同位素的浓度。

    光掩模坯
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1224513A

    公开(公告)日:1999-07-28

    申请号:CN97196087.9

    申请日:1997-06-30

    CPC classification number: G03F1/32 Y10T428/3154 Y10T428/31612

    Abstract: 透射衰减嵌入相移光掩模坯包括至少一种聚合物材料,优选为一种无定形含氟聚合物,或一种掺有氟功能化的有机硅烷的无定形含氟聚合物,和有机硅酸酯,或其组合,此聚合物材料具有:a)在所选择的平版印刷波长在400nm以下时的折射率(n)范围在1.2~2.0,优选在1.26~1.8的范围;和(b),在所选择的平版印刷波长在400nw以下时的消光系数(k)范围在0.04~0.8,优选在0.06~0.59的范围。

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