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公开(公告)号:CN103429417A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201280014141.8
申请日:2012-05-15
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: B29C59/02 , B29C33/40 , H01L21/027
CPC classification number: B29C33/424 , B29C33/405 , B29K2883/00 , G03F7/0002 , Y10T428/24479
Abstract: 本发明的曲面用纳米压印用模具的特征是由250μm厚的Hs橡胶硬度在10~55的范围内的有机硅橡胶弹性体构成,且在表面形成有微细的凹凸。根据本发明的曲面用纳米压印用模具,即使对曲面也能形成纳米压印。
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公开(公告)号:CN104737272A
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201380054959.7
申请日:2013-10-15
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/38 , B29C59/02 , C08F220/00 , C08F220/26 , C08F230/08
CPC classification number: C08F222/20 , B29C33/38 , B29C33/3857 , B29C33/40 , B29L2031/757 , C08F2/48 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/0755 , C08F222/1006 , C08F230/08 , C08F2222/1013 , C08F2220/286 , C08F2230/085
Abstract: 本发明的目的在于提供一种用于制造与转印对象的树脂的剥离性良好的柔软的压印用模具的光固化性树脂组合物。此外,本发明的目的还在于提供一种作为光压印的转印对象在受到光压印时固化收缩得以抑制的光固化性树脂组合物。进一步,本发明的目的在于提供一种可制造表面硬度高、即使受到紫外线等的照射也可抑制黄变产生的压印用模具的光固化性树脂组合物。本发明的压印用光固化性树脂组合物是含有(甲基)丙烯酸类单体(A)、含硅单体(B)以及光引发剂(C)的压印用光固化性树脂组合物,其特征在于,上述光引发剂由苯烷基酮类光引发剂(C1)以及酰基氧化膦类光引发剂(C2)组合而成。
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公开(公告)号:CN103068556B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201180038661.8
申请日:2011-08-03
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: B29C59/02 , B29C33/40 , B29C33/56 , H01L21/027 , B29K33/04
CPC classification number: B29C59/005 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C2033/426 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂的脱模性优良且不会因压印而产生缺陷的纳米压印用树脂制模具。本发明的课题还在于提供压印时不会发生基板和各层的剥离的纳米压印树脂制模具。本发明的纳米压印用树脂制模具的特征在于,具有基板、形成在上述基板上且表面具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的无机物层以及在上述无机物层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的脱模剂层,上述树脂层的树脂相对于全部构成单元含有1~50%由含环氧基不饱和化合物衍生的构成单元,环氧值为7.0×10-4~4.0×10-2。
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公开(公告)号:CN104350580A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201380027093.0
申请日:2013-05-15
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: H01L21/027 , B81C99/00 , C08F2/50
CPC classification number: C08F22/10 , B29C59/005 , B29C59/026 , C08F2/50 , G03F7/0002 , Y10T428/24612
Abstract: 本发明提供一种在光压印中抑制了固化收缩的光固化性树脂组合物。此外,本发明还提供一种由光压印制造的表面硬度高、即使受到紫外线等照射黄变产生也被抑制的结构体的光固化性树脂组合物。本发明的压印用光固化性树脂组合物是一种含有(甲基)丙烯酸类单体(A)和光引发剂(B)的光固化性树脂组合物,其特征在于,所述光引发剂(B)由苯烷基酮类光引发剂(B1)和酰基氧化膦类光引发剂(B2)组合而成,所述苯烷基酮类光引发剂(B1)和所述酰基氧化膦类光引发剂(B2)的掺合重量比(B1∶B2)在1∶99~90∶10的范围内。
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公开(公告)号:CN103764361A
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201280040635.3
申请日:2012-07-31
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: B29C33/40 , B29C59/04 , H01L21/027
CPC classification number: B29C65/48 , B29C33/0011 , B29C33/0022 , B29C33/40 , B29C59/04 , B29C65/1406 , B29C65/4825 , B29C65/483 , B29C65/4845 , B29C65/5057 , B29C65/524 , B29C65/546 , B29C65/76 , B29C66/1122 , B29C66/1142 , B29C66/1282 , B29C66/12841 , B29C66/4322 , B29C66/49 , B29C66/5326 , B29C66/71 , B29C66/723 , B29C66/72323 , B29C66/72326 , B29C66/72327 , B29C2035/0827 , B29D99/0035 , B29L2016/00 , B29L2031/324 , Y10T156/1089 , B29K2023/00 , B29K2023/38 , B29K2025/04 , B29K2033/08 , B29K2033/12 , B29K2063/00 , B29K2067/00 , B29K2067/003 , B29K2069/00 , B29K2079/08 , B29K2081/06
Abstract: 本发明提供一种用于以辊对辊的方式大量生产树脂结构物(特别是树脂制的复制模)的树脂制模具的接合方法以及由该接合方法制得的辊对辊用连续模具结构体,该接合方法在将树脂制模具的端部彼此接合时,能充分加强接合部的强度且在接合部不产生高低差,藉此能良好地进行所需的微细的凹凸图案的反转图案的转印。本发明的特征是在将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制模具的端部间对接时,在上述树脂制模具的端部的对接部的间隙内填充剥离性的树脂,通过上述剥离性的树脂的固化,将上述树脂制模具的端部间接合成一体。
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公开(公告)号:CN103068556A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201180038661.8
申请日:2011-08-03
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: B29C59/02 , B29C33/40 , B29C33/56 , H01L21/027 , B29K33/04
CPC classification number: B29C59/005 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C2033/426 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂的脱模性优良且不会因压印而产生缺陷的纳米压印用树脂制模具。本发明的课题还在于提供压印时不会发生基板和各层的剥离的纳米压印树脂制模具。本发明的纳米压印用树脂制模具的特征在于,具有基板、形成在上述基板上且表面具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的无机物层以及在上述无机物层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的脱模剂层,上述树脂层的树脂相对于全部构成单元含有1~50%由含环氧基不饱和化合物衍生的构成单元,环氧值为7.0×10-4~4.0×10-2。
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