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公开(公告)号：CN102466736B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201010552669.3
申请日：2010-11-19
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0831 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本发明涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102466736A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010552669.3
申请日：2010-11-19
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P2015/0831 , G01P2015/0837
Abstract: 本发明涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本发明涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。
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公开(公告)号：CN102269598A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201010192534.0
申请日：2010-06-04
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01D5/24
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度的电容传感器及其制造方法。其中高灵敏度的电容传感器包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本发明涉及的高灵敏度的电容传感器及其制造方法，通过大大增加电容极板的等效变化面积，从而大大提高器件测量的灵敏度。
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公开(公告)号：CN102269598B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201010192534.0
申请日：2010-06-04
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01D5/24
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度的电容传感器及其制造方法。其中高灵敏度的电容传感器包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本发明涉及的高灵敏度的电容传感器及其制造方法，通过大大增加电容极板的等效变化面积，从而大大提高器件测量的灵敏度。
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公开(公告)号：CN201852852U
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201020617239.0
申请日：2010-11-19
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本实用新型涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。
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公开(公告)号：CN201837400U
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201020216160.7
申请日：2010-06-04
Applicant: 美新半导体(无锡)有限公司
IPC: G01D5/241
Abstract: 本实用新型涉及一种高灵敏度的电容传感器，其包括柔性梁、固定叉指以及与柔性梁连接的且与固定叉指配合的可动叉指，其中固定叉指和可动叉指分别都包括底部和与所述底部垂直连接的两个以上的凸起部。本实用新型涉及的高灵敏度的电容传感器，通过大大增加电容极板的等效变化面积，从而大大提高器件测量的灵敏度。
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