一种MEMS传感器系统的正交偏移的求取方法

    公开(公告)号:CN118094050A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202311847209.7

    申请日:2023-12-28

    Inventor: 仲雅莉 王昕 李京

    Abstract: 本发明提供一种MEMS传感器系统的正交偏移的求取方法,其包括:信号处理器通过发送端发送频率分别为f1~fN的N个导频信号;信号处理器的接收端接收到频率分别为f1~fN的N个导频信号;根据发送的N个导频信号和接收到的N个导频信号分别求出N个导频点的频率响应值y1~yN;把(f1,y1)、(f2,y2)、(f3,y3)、……(fN,yN)带入N次多项式拟合公式:y=a0+a1*f+a2*f2+a3*f3+……+a(N‑1)*f(N‑1),以解出多项式系数a0~a(N‑1);解出的多项式系数a0就是正交偏移值。与现有技术相比,本发明可以通过发送导频信号,求出带外频点的频率响应,再利用多项式拟合公式,求解出0Hz处的频率响应值,该频率响应值就是正交偏移的分量。

    数据处理方法、数据处理装置以及传感器组件

    公开(公告)号:CN117804418A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311846710.1

    申请日:2023-12-28

    Inventor: 仲雅莉 王昕 李京

    Abstract: 本发明提供一种数据处理方法、数据处理装置以及传感器组件。所述数据处理方法包括:将预定频率的导频方波信号调制到MEMS传感器的谐振频率上,以形成调制导频信号;对所述MEMS传感器输出的传感信号进行解调得到多个导频点的频率响应;利用多个导频点的频率响应进行多项式拟合,求解出有效信号频带内的频率响应;根据所述有效信号频带内的频率响应估计出灵敏度偏移和正交偏移;根据估计出的灵敏度偏移对滤波后的传感信号进行灵敏度补偿,根据估计出的正交偏移对灵敏度补偿后的传感信号进行正交偏移补偿。这样,通过一个导频方波信号就可以实现多个导频信号的效果。

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