公开(公告)号：CN1572901A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN03149150.2

申请日：2003-05-23

Applicant: 肖特·格拉斯公司

Inventor： 格雷戈尔·阿诺尔德 ,  斯特凡·贝勒 ,  安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 ,  马蒂亚斯·比克尔

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4409 ,  B05D1/62 ,  B08B7/00 ,  B08B9/426 ,  B29C49/421 ,  B29C2049/4221 ,  B29C2791/001 ,  B65D23/02 ,  B65G29/00 ,  B65G2201/0244 ,  C08J9/0004 ,  C08J2300/14 ,  C23C14/046 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C16/045 ,  C23C16/401 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511 ,  C23C16/54 ,  H01J37/32733

Abstract: 为了方便地将工件放入和移出反应器以使得它们在那里进行化学气相沉积处理，本发明提供一种工件的化学气相沉积处理装置，它包括传送装置和固定到传送装置的至少一个反应器，该处理装置具有至少一个机械控制凸轮并且该反应器具有由至少一个控制凸轮驱动的打开和关闭装置。

公开(公告)号：CN1495285A

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN03140988.1

申请日：2003-05-23

Applicant: 肖特·格拉斯公司

Inventor： 格雷戈尔·阿诺尔德 ,  斯特凡·贝勒 ,  安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 ,  马蒂亚斯·比克尔

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4409 ,  B05D1/62 ,  B08B7/00 ,  B08B9/426 ,  B29C49/421 ,  B29C2049/4221 ,  B29C2791/001 ,  B65D23/02 ,  B65G29/00 ,  B65G2201/0244 ,  C03C17/004 ,  C03C17/005 ,  C08J9/0004 ,  C08J2300/14 ,  C23C14/046 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C16/045 ,  C23C16/401 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511 ,  C23C16/54 ,  H01J37/32733

Abstract: 为了经济有效地进行长时间的化学气相沉积涂料，本发明提供了一种化学气相沉积涂料设备，该设备包括一个传送装置；至少一个用于涂料工件的涂料站；至少一个抽空装置以及一个用来至少在涂料站的一个子区域内形成等离子体的装置；在该设备中，该至少的一个涂料站内至少能接收两个工件。