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公开(公告)号:CN1495285A
公开(公告)日:2004-05-12
申请号:CN03140988.1
申请日:2003-05-23
Applicant: 肖特·格拉斯公司
Inventor: 格雷戈尔·阿诺尔德 , 斯特凡·贝勒 , 安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 , 马蒂亚斯·比克尔
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4409 , B05D1/62 , B08B7/00 , B08B9/426 , B29C49/421 , B29C2049/4221 , B29C2791/001 , B65D23/02 , B65G29/00 , B65G2201/0244 , C03C17/004 , C03C17/005 , C08J9/0004 , C08J2300/14 , C23C14/046 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C16/045 , C23C16/401 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/511 , C23C16/54 , H01J37/32733
Abstract: 为了经济有效地进行长时间的化学气相沉积涂料,本发明提供了一种化学气相沉积涂料设备,该设备包括一个传送装置;至少一个用于涂料工件的涂料站;至少一个抽空装置以及一个用来至少在涂料站的一个子区域内形成等离子体的装置;在该设备中,该至少的一个涂料站内至少能接收两个工件。
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公开(公告)号:CN1572901A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN03149150.2
申请日:2003-05-23
Applicant: 肖特·格拉斯公司
Inventor: 格雷戈尔·阿诺尔德 , 斯特凡·贝勒 , 安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 , 马蒂亚斯·比克尔
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4409 , B05D1/62 , B08B7/00 , B08B9/426 , B29C49/421 , B29C2049/4221 , B29C2791/001 , B65D23/02 , B65G29/00 , B65G2201/0244 , C08J9/0004 , C08J2300/14 , C23C14/046 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C16/045 , C23C16/401 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/511 , C23C16/54 , H01J37/32733
Abstract: 为了方便地将工件放入和移出反应器以使得它们在那里进行化学气相沉积处理,本发明提供一种工件的化学气相沉积处理装置,它包括传送装置和固定到传送装置的至少一个反应器,该处理装置具有至少一个机械控制凸轮并且该反应器具有由至少一个控制凸轮驱动的打开和关闭装置。
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公开(公告)号:CN1539155A
公开(公告)日:2004-10-20
申请号:CN02815423.1
申请日:2002-08-07
Applicant: 肖特·格拉斯公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32229 , C23C16/511 , H01J37/32192
Abstract: 本发明涉及一种用于对物体进行涂层的装置。本装置配备具有下列特征:具有一个唯一的微波源;具有两个或多个涂层室;所有涂层室连接在所述唯一的微波源上;设有一个阻抗结构或一个波导管结构用于将产生等离子体的微波能量分配到各涂层室中。
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公开(公告)号:CN1538883A
公开(公告)日:2004-10-20
申请号:CN02815425.8
申请日:2002-08-07
Applicant: 肖特·格拉斯公司
CPC classification number: B05D1/62 , B05D7/227 , B29C45/0053 , B29C45/1703 , B29C2045/0079
Abstract: 本发明涉及一种用于同时对物体(11)进行涂层和成型的方法和装置,其包括下列步骤:将用于成型一成型物体(11)的模具(1)的两个半模(1.1、1.2)组装在一起并使之贴合;将一种注射材料注入到半模(1.1、1.2)中,以便形成一成型物体(11);将成型物体(11)抽成真空;将一种气体通入到成型物体(11)中;在成型物体(11)中引发等离子体,以便在成型物体(11)的内面上沉积一个涂层;在结束涂层以后,将所述半模(1.1、1.2)相互分开,以便放出成型物体。
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