公开(公告)号：CN108140523A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680059372.9

申请日：2016-11-04

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 尼尔·K·科尔文 ,  哲-简·谢

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/022 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明公开一种离子源内衬(204)，包括具有暴露表面的衬板。所述衬板包括通孔以及环绕该通孔且自暴露表面向外延伸的唇缘(234)并且可选地包括凹部，该凹部具有自暴露表面凹陷且环绕通孔的第二表面。本发明进一步公开一种电弧腔室(202)，包括：所述离子源内衬以及具有轴部(218)和头部(250)的电极(208)，例如推斥极(248)，其中，该电极穿过所述通孔并界定衬板与轴部之间的环状间隙；以及离子源，该离子源包括电弧腔室，其中，该电弧腔室具有主体，该主体界定内部区域(212)，其中所述暴露表面暴露于所述电弧腔室内生成的电浆，以及其中，电极与主体电性隔离。唇缘(234)大体上防止微粒污染物(248’)进入环状间隙(206)。

公开(公告)号：CN108140523B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201680059372.9

申请日：2016-11-04

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 尼尔·K·科尔文 ,  哲-简·谢

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明公开一种离子源内衬(204)，包括具有暴露表面的衬板。所述衬板包括通孔以及环绕该通孔且自暴露表面向外延伸的唇缘(234)并且可选地包括凹部，该凹部具有自暴露表面凹陷且环绕通孔的第二表面。本发明进一步公开一种电弧腔室(202)，包括：所述离子源内衬以及具有轴部(218)和头部(250)的电极(208)，例如推斥极(248)，其中，该电极穿过所述通孔并界定衬板与轴部之间的环状间隙；以及离子源，该离子源包括电弧腔室，其中，该电弧腔室具有主体，该主体界定内部区域(212)，其中所述暴露表面暴露于所述电弧腔室内生成的电浆，以及其中，电极与主体电性隔离。唇缘(234)大体上防止微粒污染物(248’)进入环状间隙(206)。

公开(公告)号：CN108352229A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680059373.3

申请日：2016-11-10

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 尼尔·K·科尔文 ,  约翰·F·巴格特

IPC: H01B17/00 ,  H01B17/42 ,  H01J27/02 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J27/022 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/038

Abstract: 本发明涉及一种细长绝缘体(302)。该绝缘体可以定位于离子源的开孔接地电极(308)与开孔抑制电极(306)之间。该绝缘体包含具有第一端(316)和第二端(316)的细长本体，其中一个或多个特征(312)界定于该细长本体中并增长沿该细长本体的表面从第一端到第二端的气体传导路径。这些特征(312)中的一个或多个是大体上沿轴向或者与细长本体的轴线成非零角度延伸到细长本体中的切槽(314)。这些特征(312)中的一个能够包括自细长本体的半径延伸出的肋部。