公开(公告)号：CN113237438A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202110615706.9

申请日：2021-06-02

Applicant: 苏州大学

Inventor： 马锁冬 ,  郑力晨 ,  徐圣智 ,  刘明睿 ,  任卯韫

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明涉及一种共光轴结构的类/镜面形貌超分辨测量方法及其装置。测量装置的显示模块和图像采集模块经光路折转模块偏转光路90°形成共光轴结构，通过数据传输控制线与嵌入式开发板相连；计算机通过Wi‑Fi与嵌入式开发板无线连接。测量状态时，显示屏显示0°、60°、120°三个方向上的基于时域变频三步相移的正弦直条纹，经被测物表面调制反射，由相机模组采集获取图片；相机模组将采集的图片经计算机数据处理后，得到被测物的超分辨三维形貌。本发明采用共光轴结构，装置结构紧凑、便携性强，可实现无线自动化测控；单次测量可获得多个方向上与面形梯度相关的超分辨相位数据，提升横向分辨率和纵向测量精度。

公开(公告)号：CN113237438B

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202110615706.9

申请日：2021-06-02

Applicant: 苏州大学

Inventor： 马锁冬 ,  郑力晨 ,  徐圣智 ,  刘明睿 ,  任卯韫

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明涉及一种共光轴结构的类/镜面形貌超分辨测量方法及其装置。测量装置的显示模块和图像采集模块经光路折转模块偏转光路90°形成共光轴结构，通过数据传输控制线与嵌入式开发板相连；计算机通过Wi‑Fi与嵌入式开发板无线连接。测量状态时，显示屏显示0°、60°、120°三个方向上的基于时域变频三步相移的正弦直条纹，经被测物表面调制反射，由相机模组采集获取图片；相机模组将采集的图片经计算机数据处理后，得到被测物的超分辨三维形貌。本发明采用共光轴结构，装置结构紧凑、便携性强，可实现无线自动化测控；单次测量可获得多个方向上与面形梯度相关的超分辨相位数据，提升横向分辨率和纵向测量精度。

公开(公告)号：CN113063372A

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN202110491256.7

申请日：2021-05-06

Applicant: 苏州大学

Inventor： 马锁冬 ,  郑力晨 ,  徐圣智 ,  刘明睿 ,  任卯韫

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明涉及一种便携式镜面/类镜面形貌的自动测量方法及其装置，属光学检测技术领域。可伸缩框架由上、中、下三组平行导轨、伸缩杆和伸缩调节机构组成，显示模块和图像采集模块通过直线电机分别置于可伸缩框架的平行导轨上，嵌入式开发板通过Wi‑Fi模块与计算机无线连接，控制直线电机、伸缩调节机构的运动，自动调整显示模块、图像采集模块的位置和角度，在保证测量结果准确的同时兼顾了便携性与灵活性；显示屏显示基于时域变频相移的同心圆环正弦条纹，相机采集经被测物表面调制反射的变形条纹图，经计算机处理得到被测物的三维形貌。本发明提供的测量装置结构紧凑、便携性强、自动化程度高，所提供的测量方法能有效提高测量精度和效率。

公开(公告)号：CN118147746A

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202410261029.9

申请日：2024-03-07

Applicant: 苏州大学

Inventor： 石震武 ,  任卯韫 ,  彭长四 ,  程灵素 ,  耿彪

IPC: C30B25/16 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/3213 ,  C30B25/10 ,  C30B23/02 ,  C30B29/02 ,  C30B29/52 ,  C30B33/00

Abstract: 本发明属于半导体技术领域，涉及面向半导体分子束外延的一种图形化可控液滴外延方法。该方法包括以下步骤，将衬底的温度维持在低于目标液滴材料的熔点；在衬底表面沉积目标液滴材料，形成金属镀膜层，沉积厚度高于目标液滴材料正常形成液滴时的临界厚度；原位引入激光干涉脉冲辐照作用于所述金属镀膜层，实现目标液滴的图形化有序构筑。本发明方法可实现图形化制备III族元素液滴，该方法的原理和实施过程完全兼容传统的液滴外延过程，不存在引入任何材料缺陷的风险，不对衬底种类有选择，从而解决当前现有图形化技术普遍存在的包括材料晶体质量潜在的损伤，液滴成分一致性差以及液滴的种类直接受限于选用的衬底等问题。

公开(公告)号：CN118053929A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202410196757.6

申请日：2024-02-22

Applicant: 苏州大学

Inventor： 石震武 ,  张高俊 ,  彭长四 ,  耿彪 ,  朱泽群 ,  韩照祥 ,  程灵素 ,  任卯韫

IPC: H01L31/0352 ,  C30B25/18 ,  C30B29/40

Abstract: 本发明属于半导体领域，具体涉及一种基于分子束外延的原位激光直接制备半导体量子环的方法。该方法包括以下步骤，对衬底AB加热后进行第一次原位激光脉冲辐照；调低激光脉冲能量进行第二次原位激光脉冲辐照，通入B中断退火；重复第二次原位激光脉冲辐照和通入B中断退火，直至形成AB半导体量子环。本发明方法能够制备高晶体质量、高对称性的半导体量子环，同时该方法还具备高效可控等优点。

公开(公告)号：CN216668624U

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202120948716.X

申请日：2021-05-06

Applicant: 苏州大学

Inventor： 马锁冬 ,  郑力晨 ,  徐圣智 ,  刘明睿 ,  任卯韫

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实用新型涉及一种便携式镜面/类镜面形貌测量装置。可伸缩框架由上、中、下三组平行导轨、伸缩杆和伸缩调节机构组成，显示模块的直线电机分别置于可伸缩框架的中、下两组平行导轨上，图像采集模块的直线电机分别置于可伸缩框架的中、上两组平行导轨上；载物台位于相机的前焦平面，显示屏、载物台、相机呈三角结构放置；接口控制器与计算机无线连接，控制直线电机、伸缩调节机构的运动，自动调整显示模块、图像采集模块的位置和角度。本实用新型提供的测量装置结构紧凑、便携性强、自动化程度与检测效率高，适合于镜面/类镜面元件面形的自动化、无线测控。