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公开(公告)号:CN112817184B
公开(公告)日:2025-05-16
申请号:CN201911124382.8
申请日:2019-11-15
IPC: G02F1/1337 , G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种应用于LCOS系统位相调制工作台的低速运动控制方法,包括:将大幅面加工图形进行数据处理和分割为若干个图形块,运动控制器控制工作台移动到二维物理坐标对应的指定位置;将所述图形块文件上载到LCOS板卡内存中,且在LCOS面板上显示;运动控制器控制脉冲光源开关,形成一次曝光;工作台移动到下个二维物理坐标对应的指定位置,直至整个大幅面加工图形的二维物理坐标点都执行完毕。本发明利用脉冲激光能量大、脉宽短、重复频率高特点,基于单个脉冲实现单帧偏振图案记录,对于工作台的运动精准控制,实现了曝光面积大、效率高、可靠性好的优点。
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公开(公告)号:CN115241729A
公开(公告)日:2022-10-25
申请号:CN202110438791.6
申请日:2021-04-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开一种基于液晶的可调谐激光器,包括:泵浦光源和光子芯片,光子芯片包括:液晶衬底层、设置于液晶衬底层表面的液晶导芯层以及驱动电极;液晶导芯层上分布有:光传输直波导,光传输直波导的输入端用于输入泵浦光源;光输出直波导,光输出直波导的输出端用于输出任意波长光;谐振腔,包括:一个或多个互相级联的谐振微腔,谐振腔分别与光传输直波导和光输出直波导透射耦合;驱动电极用于驱动液晶衬底层、液晶导芯层的光传输直波导部分、光输出直波导部分及谐振腔部分内液晶分子排布变化,改变其对应部分的折射率。本发明公开一种基于液晶的可调谐激光器结构简洁,集成化程度高,体积小,可以实现多级级联,输出高效率高。
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公开(公告)号:CN115236883A
公开(公告)日:2022-10-25
申请号:CN202110428785.2
申请日:2021-04-22
Applicant: 苏州大学
IPC: G02F1/13 , G02F1/1333 , G02F1/139
Abstract: 本发明公开一种基于液晶的芯片化滤波器,该芯片化滤波器包括:芯片衬底层,芯片衬底层为分布有液晶分子的液晶层;芯片导芯层,设置于芯片衬底层表面,芯片导芯层为分布有液晶分子的液晶层,芯片导芯层包括:双直波导部分以及与双直波导部分透射耦合的谐振腔部分,双直波导部分用于实现白光或者多光谱光源的输入以及任意波长光的输出;驱动电极,用于驱动芯片衬底层、双直波导部分、谐振腔部分内液晶分子的排布变化,改变其对应部分的折射率。本发明采用液晶的调制实现可调谐的滤波功能,低电压驱动下主要工作波段可以覆盖近紫外至近红外波段和主要通讯波段,且体积小、易于集成。
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公开(公告)号:CN112946959A
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN201911262869.2
申请日:2019-12-10
IPC: G02F1/1337
Abstract: 本发明公开了一种应用于DMD图案化液晶光取向装置的照明系统,包括脉冲光源;照明系统与所述动态掩模生成组件相连,动态掩模生成组件包括数控微镜DMD和可电动调节偏振片,用于动态调控来自所述照明系统的入射光的偏振态;脉冲光源的脉冲重复光源频率与数控微镜DMD的图像刷新速率匹配。本发明利用脉冲激光能量大、脉宽短、重复频率高特点,基于单个或者多个脉冲实现单帧偏振图案记录,有着面积大,效率高,可靠性好的优点。
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公开(公告)号:CN112946876A
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN201911262820.7
申请日:2019-12-10
IPC: G02B26/08 , G02F1/1337
Abstract: 本发明公开了一种应用于DMD系统工作台低速运动控制方法,将单色序列文件路径内的所有单色位图依次上载到DMD板卡内存中;DMD面板上显示一幅存储在所述DMD板卡内存中的单色位图,运动控制器读取所述运动控制器内存中的一个偏振角度数据,控制电动可调偏振片旋转到指定角度;运动控制器控制脉冲光源开关,形成一次曝光;工作台移动到下个二维物理坐标对应的指定位置,直至整个大幅面加工图形的二维物理坐标点都执行完毕。本发明实现了对工作台运动精准控制,实现了曝光面积大、效率高、可靠性好的优点。
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公开(公告)号:CN112817158A
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN201911124170.X
申请日:2019-11-15
IPC: G02B27/28 , G02F1/1337
Abstract: 本发明公开了一种大幅面可控偏振图案生成装置,包括偏振图案生成部件,用于输出像素化可编程偏振图案到工件上;偏振图案生成部件包括位相调制器,位相调制器根据接收的信号,获得工件上所需光取向的偏振分布信息;照明部件投射在所述位相调制器表面的光场分布被所述位相调制器调制,调制后的光束使位于工作台上的光偏振敏感材料变性。本发明利用脉冲激光能量大、脉宽短、重复频率高特点,基于单个或者多个脉冲实现单帧偏振图案记录,有着面积大,效率高,可靠性好的优点。
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公开(公告)号:CN115241729B
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202110438791.6
申请日:2021-04-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开一种基于液晶的可调谐激光器,包括:泵浦光源和光子芯片,光子芯片包括:液晶衬底层、设置于液晶衬底层表面的液晶导芯层以及驱动电极;液晶导芯层上分布有:光传输直波导,光传输直波导的输入端用于输入泵浦光源;光输出直波导,光输出直波导的输出端用于输出任意波长光;谐振腔,包括:一个或多个互相级联的谐振微腔,谐振腔分别与光传输直波导和光输出直波导透射耦合;驱动电极用于驱动液晶衬底层、液晶导芯层的光传输直波导部分、光输出直波导部分及谐振腔部分内液晶分子排布变化,改变其对应部分的折射率。本发明公开一种基于液晶的可调谐激光器结构简洁,集成化程度高,体积小,可以实现多级级联,输出高效率高。
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公开(公告)号:CN113406824B
公开(公告)日:2023-02-21
申请号:CN202010184553.2
申请日:2020-03-17
Applicant: 苏州大学
IPC: G02F1/1337 , G02B5/18 , G02B5/30 , G02B27/28 , G02B27/42
Abstract: 本发明公开一种偏振周期角度连续可调的图案化液晶光取向装置及方法,该装置包括:光源组件、焦距伺服组件、运动控制部件、偏振光栅或傅立叶变换系统以及视场光阑,本发明能够制备周期从十微米级至毫米级,大小从几百纳米至几十微米可调的周期光栅结构,周期结构的形状大小可根据视场光阑进行选取,并可将其组合为可设计的任意图形,其中每个小周期光栅结构的偏振角度和周期自由可取,可实现大幅面高自由度的的偏振光刻图案。
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公开(公告)号:CN112946958B
公开(公告)日:2022-08-12
申请号:CN201911256900.1
申请日:2019-12-10
IPC: G02F1/1337 , G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种应用于DMD系统工作台高速运动控制方法,包括将大幅面的单色位图相应地分割为若干个子单色位图块,生成对应每个子单色位图块的二维物理坐标及子单色位图块编号,生成所分割单色位图的二维物理坐标集合;每个灰度值和其对应的所述单色位图在电动可调偏振片上都有一个对应位置,根据扫描文件对应的所述灰度值,选择可电动调节偏振片到指定的角度,运动控制器控制二维平台按行或者列作不停顿扫描运动。本发明利用脉冲激光能量大、脉宽短、重复频率高特点,基于多个脉冲实现单帧偏振图案记录,对于工作台的运动精准控制,实现了曝光面积大、效率高、可靠性好的优点。
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公开(公告)号:CN112817185A
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN201911125169.9
申请日:2019-11-15
IPC: G02F1/1337 , G02B27/28
Abstract: 本发明公开了一种应用于高速曝光图案化液晶光取向装置的照明系统,包括脉冲光源和准直起偏部件,用于提供进行连续频闪曝光的光源和实现单一偏振准直均匀面光斑;所述照明系统连接于偏振图案生成部件,所述偏振图案生成部件包括位相调制器件;所述脉冲光源的单位面积能量高于液晶基片上光偏振敏感材料的阈值能量,且低于位相调制器件损伤阈值。本发明利用脉冲激光能量大、脉宽短、重复频率高特点,基于单个或者多个脉冲实现单帧偏振图案记录,有着面积大,效率高,可靠性好的优点。
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