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公开(公告)号：CN116448383A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310164054.0
申请日：2023-02-24
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种激光光斑分析仪的校准装置及方法，涉及仪器计量技术领域。该装置包括：激光器、扩束镜、第一透镜、旋转的毛玻璃、第二透镜、反射式空间光调制器、4f成像系统；扩束镜用于对激光器发出的激光光束进行扩束；第一透镜用于将光束汇聚到毛玻璃表面；旋转的毛玻璃用于将光束转换成部分相干光束；第二透镜用于将部分相干光束投射到空间光调制器上；空间光调制器用于对光束进行调制；4f成像系统用于将光束成像于光源面处。本装置利用空间光调制器进行光束整形，可在同一位置输出稳定的、束宽可调的激光光束，本装置降低输入激光空间相干性得到部分相干光束，减少环境扰动对测量结果的影响，能够用于激光光斑分析仪的高精度校准。
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