超长焦深超分辨光针生成方法及其高深宽比激光直写系统

    公开(公告)号:CN116520645A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310397526.7

    申请日:2023-04-14

    Abstract: 本发明涉及一种长焦深超分辨光针生成方法及高深宽比激光直写系统,采用多焦点拼接延长焦深的特点,结合遗传算法突破传统透镜数值孔径与焦深之间的矛盾,通过超振荡透镜对入射光场进行调控,实现高数值孔径下长焦深光场,得到超越衍射极限的超长焦深超分辨光针光场;最终将这种超越衍射极限的超长焦深超分辨光针光场用来实现高深宽比激光直写加工,实现线宽小于衍射极限且加工深度有一定要求的微纳结构加工;另外,本发明产生的超长焦深超分辨光针光场不需要任何空间笨重复杂的机械结构可以直接实时获取,使高深宽比激光直写系统的架构更简单且易于系统的小型化设计。

    一种基于深度学习的平面超振荡透镜优化设计方法

    公开(公告)号:CN117148568A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202310890587.7

    申请日:2023-07-20

    Abstract: 本发明提供了一种基于深度学习的平面超振荡透镜优化设计方法,涉及超振荡透镜技术领域,本方法包括步骤S1:初始特征值定义在平面超振荡透镜的聚焦平面上,在聚焦平面上聚焦光斑的半高宽的值大于衍射极限时,初始定义特征值为0;在聚焦平面上聚焦光斑的半高宽小于衍射极限时,初始定义特征值为旁瓣与主瓣的比值;S2:获取超振荡透相应的特征值,构建深度学习建模的训练集和测试集,并将数据集划分为小批量;S3:构建基于卷积神经网络的超振荡特征值预测模型。本方法能够降低平面超振荡透镜设计所需算力成本,缩短优化周期,从而实现平面超振荡透镜的快速设计。

    一种基于超振荡透镜静态光片的荧光显微成像系统及方法

    公开(公告)号:CN115728925A

    公开(公告)日:2023-03-03

    申请号:CN202211508919.2

    申请日:2022-11-29

    Abstract: 本发明涉及一种基于超振荡透镜静态光片的荧光显微成像系统及方法,包括激发光发射装置、超振荡透镜、耗损光发射装置以及光栅光阑,观测样品位于超振荡透镜和光栅光阑之间;激发光发射装置发射偏振方向平行于超振荡透镜狭缝方向的线偏振光,所述超振荡透镜对经过的线偏振光进行调控产生高能旁瓣以及亚衍射极限光片;所述耗损光发射装置发射平行耗损光束,对平行耗损光束进行整形,整形后的平行耗损光束为仅覆盖高能旁瓣的平行耗损光束;这样就可以消除超振荡透镜产生的高能旁瓣对光片荧光显微成像的影响,实现高信噪比、大视场、分辨率增强的静态光片荧光显微成像。

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