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公开(公告)号：CN103871804B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410122626.X
申请日：2014-03-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 室温下Pd薄膜大面积纳米缝阵列并行制造方法，在刚性基底和Pd薄膜之间引入易产生应力集中的环氧树脂阵列，反复使Pd薄膜处于较高氢气浓度和较低氢气浓度环境中，Pd与氢气发生可逆化学反应，导致Pd薄膜体积循环增大和减小，给Pd薄膜施加循环应力载荷，当循环次数足够多时，Pd薄膜在应力集中区发生疲劳断裂，本发明解决了传统金属薄膜断裂所需的应变来源问题，裂缝位置精确可控，控制氢气浓度、置于氢气环境中的时间及循环次数可以改变纳米缝宽度大小；Pd薄膜厚度均匀，循环应力作用均匀保证了阵列化纳米裂缝电极大面积并行制造的可行性和均匀性；同时，实验在室温下进行，方法简单有效。
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公开(公告)号：CN103852972A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410122627.4
申请日：2014-03-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种双焦点微透镜阵列的微米压印与激光诱导成形方法，首先利用电润湿法获得初级微透镜结构初始凹模，然后利用翻模和压印技术获得初级微透镜结构，再利用激光诱导聚合物膨胀技术在初级微透镜结构上制备次级级隆起结构，最后利用翻模和压印技术获得所需的双焦点微透镜，进而实现双焦点微透镜阵列的简单快速制造，本发明结合激光光致膨胀特性制备凸起结构解决了在微结构上继续加工微结构的问题，采用微米压印技术可有效提高双焦点微透镜的加工效率和结构的均匀性。
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公开(公告)号：CN103852972B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410122627.4
申请日：2014-03-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种双焦点微透镜阵列的微米压印与激光诱导成形方法，首先利用电润湿法获得初级微透镜结构初始凹模，然后利用翻模和压印技术获得初级微透镜结构，再利用激光诱导聚合物膨胀技术在初级微透镜结构上制备次级级隆起结构，最后利用翻模和压印技术获得所需的双焦点微透镜，进而实现双焦点微透镜阵列的简单快速制造，本发明结合激光光致膨胀特性制备凸起结构解决了在微结构上继续加工微结构的问题，采用微米压印技术可有效提高双焦点微透镜的加工效率和结构的均匀性。
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公开(公告)号：CN103871804A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410122626.X
申请日：2014-03-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 室温下Pd薄膜大面积纳米缝阵列并行制造方法，在刚性基底和Pd薄膜之间引入易产生应力集中的环氧树脂阵列，反复使Pd薄膜处于较高氢气浓度和较低氢气浓度环境中，Pd与氢气发生可逆化学反应，导致Pd薄膜体积循环增大和减小，给Pd薄膜施加循环应力载荷，当循环次数足够多时，Pd薄膜在应力集中区发生疲劳断裂，本发明解决了传统金属薄膜断裂所需的应变来源问题，裂缝位置精确可控，控制氢气浓度、置于氢气环境中的时间及循环次数可以改变纳米缝宽度大小；Pd薄膜厚度均匀，循环应力作用均匀保证了阵列化纳米裂缝电极大面积并行制造的可行性和均匀性；同时，实验在室温下进行，方法简单有效。
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