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公开(公告)号：CN105441890B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201510974804.6
申请日：2015-12-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种高温低摩擦系数硬质涂层及其制备方法，采用反应磁控溅射技术阴极溅射金属Mo和B4C复合靶，并与真空室中Ar和N2混合气体中的N2气反应，在基底表面形成了获得了C、B元素含量适当的Mo‑B‑C‑N四元硬质涂层，即高温低摩擦系数硬质涂层，通过调节复合靶中B4C的面积，使得该涂层中B和C的含量容易控制。该涂层中C、B、Mo、N元素的原子百分比分别为2～12％、0.5～8％、55～42％、44～38％。该方法工艺简单，易于实施。本发明制得的高温低摩擦系数硬质涂层克服了现有硬质镀层性能的不足，兼备硬度高、耐磨和高温低摩擦系数的特点，使其在高速切削工具上具有良好的推广应用前景。
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公开(公告)号：CN111876732B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202010555201.3
申请日：2020-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种硼氮化钼/硫化钼纳米复合涂层及其制备方法，采用反应磁控溅射技术阴极溅射金属Mo和B4C、MoS2复合靶，并与真空室中Ar和N2混合气体中的N2气反应，在基底表面获得了Mo‑B‑S‑C‑N五元硬质涂层，即硼氮化钼/硫化钼纳米复合涂层，通过调节复合靶中B4C及MoS2的面积，使该涂层中B和S的含量容易控制。涂层中B、C、S、Mo、N元素的原子百分比为0.5～12％、2～14％、0.5～10％、55～40％、42～24％。该方法工艺简单，易于实施。本发明克服了现有硬质镀层摩擦学性能的不足，兼备硬度高、耐磨和室温到高温低摩擦系数的特点，在高速或干切削工具上具有良好的应用前景和推广价值。
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公开(公告)号：CN105441890A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510974804.6
申请日：2015-12-22
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/0688 , C23C14/3407
Abstract: 一种高温低摩擦系数硬质涂层及其制备方法，采用反应磁控溅射技术阴极溅射金属Mo和B4C复合靶，并与真空室中Ar和N2混合气体中的N2气反应，在基底表面形成了获得了C、B元素含量适当的Mo-B-C-N四元硬质涂层，即高温低摩擦系数硬质涂层，通过调节复合靶中B4C的面积，使得该涂层中B和C的含量容易控制。该涂层中C、B、Mo、N元素的原子百分比分别为2～12％、0.5～8％、55～42％、44～38％。该方法工艺简单，易于实施。本发明制得的高温低摩擦系数硬质涂层克服了现有硬质镀层性能的不足，兼备硬度高、耐磨和高温低摩擦系数的特点，使其在高速切削工具上具有良好的推广应用前景。
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公开(公告)号：CN111876732A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010555201.3
申请日：2020-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种硼氮化钼/硫化钼纳米复合涂层及其制备方法，采用反应磁控溅射技术阴极溅射金属Mo和B4C、MoS2复合靶，并与真空室中Ar和N2混合气体中的N2气反应，在基底表面获得了Mo-B-S-C-N五元硬质涂层，即硼氮化钼/硫化钼纳米复合涂层，通过调节复合靶中B4C及MoS2的面积，使该涂层中B和S的含量容易控制。涂层中B、C、S、Mo、N元素的原子百分比为0.5～12％、2～14％、0.5～10％、55～40％、42～24％。该方法工艺简单，易于实施。本发明克服了现有硬质镀层摩擦学性能的不足，兼备硬度高、耐磨和室温到高温低摩擦系数的特点，在高速或干切削工具上具有良好的应用前景和推广价值。
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