PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN119926538A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411992757.3

    申请日:2024-12-31

    Inventor: 陈烽 田萌达 杨青

    Abstract: 本发明提供了一种PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法,用于解决现有石英玻璃的微通道内壁较为粗糙,且采用溶剂挥发成膜法在微通道内壁制备有机物薄膜时存在的溶液在微通道内的挥发过程不可控,导致薄膜厚度均匀性较差,或者当溶液浓度较低时,其难以沿微通道纵向形成连续的薄膜,或者当溶液浓度较高时,溶剂挥发后容易出现有机物堵塞微通道的技术问题。本发明提供的PDMS内壁的石英玻璃微通道结构的制备方法,采用低温处理+梯度热固化+恒压吹气的方法在石英玻璃的微通道内壁上制备PDMS薄膜,获得的PDMS薄膜连续性和均匀性好,可以显著改善石英玻璃微通道内壁的粗糙度。

    一种对称式复眼结构的防近视眼镜镜片及其制备方法

    公开(公告)号:CN115097651A

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202210836297.X

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本发明公开了一种对称式复眼结构的防近视眼镜镜片,包括光学镜片,所述光学镜片包括两交替设置的光学区域,两所述光学区域包括中央有效光区和周边离焦区,所述中央有效光区位于所述光学镜片的中部,所述周边离焦区由多个大小尺寸相同的微透镜围绕所述中央有效光区对称排列构成。本发明还公开了一种对称式复眼结构的防近视眼镜镜片的制备方法,包括基材清洗‑基材固定和烧蚀准备‑飞秒激光烧蚀。本发明使得物体在经过微透镜阵列成像时产生均匀的离焦量,能够使近距离光线汇聚后进入眼中,可以避免周边发散光线刺激眼球,使物体影像可以更加准确得透射在视网膜中心,从而减缓眼轴伸长,能够有效预防由于调节过度所引发的近视发展。

    利用锥透镜实现硬脆材料纳米级小孔的加工系统及方法

    公开(公告)号:CN112570911B

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202011286364.2

    申请日:2020-11-17

    Abstract: 本发明提供一种利用锥透镜实现硬脆材料纳米级小孔的加工系统及方法,解决现有利用锥透镜在硬脆性材料表面制备小孔时难以加工亚30nm以下小孔以及小孔结构均匀性较差的问题。本发明加工系统包括飞秒激光器、偏振控制模块、能量控制模块、锥透镜、准直镜、显微加工模块、控制系统、球透镜和光谱探测模块;偏振控制模块、能量控制模块、锥透镜、准直镜、显微加工模块沿飞秒激光器的出射光路依次设置,控制系统分别控制光谱探测模块、飞秒激光器和显微加工模块;光谱探测模块通过球透镜对纳米小孔的光散射信息进行采集,并将该信息反馈至控制系统,控制系统根据该信息对贝塞尔光针在硬脆材料中的位置进行精确补偿控制和修正。

    一种基于酒精辅助飞秒激光在基板表面制备LISS的方法

    公开(公告)号:CN111001929A

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201911266184.5

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明提供一种基于酒精辅助飞秒激光在基板表面制备LISS的方法,解决现有方法仅能在聚合物表面制备LISS,而聚合物容易损坏的问题。该方法包括:步骤一、飞秒激光加工:1.1)将基板放置酒精溶液中;1.2)将容器固定在三维平移台上;1.3)使飞秒激光在基板表面进行加工;步骤二、表面修饰,降低表面能;2.1)将基板进行清洗;2.2)将基板干燥处理;2.3)若基板为低表面能材料板,执行下一步;若基板不是低表面能材料板,则基板置于低表面能有机物酒精溶液中浸泡,将基板进行干燥处理后,执行下一步;步骤三、将润滑油滴于基板表面上,静置一段时间后,将基板垂直放置,待多余硅油流下后,在基板表面完成LISS的制备。

    一种水下抗油污微透镜阵列及其制备方法

    公开(公告)号:CN109061779B

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201811047699.1

    申请日:2018-09-07

    Inventor: 杨青 李敏静 陈烽

    Abstract: 本发明涉及光学器件微制备领域,特别涉及一种水下抗油污微透镜阵列及其制备方法。结合飞秒激光湿法刻蚀工艺、模板复制法、飞秒激光直写技术和等离子辐照的制备方法。通过在微透镜阵列间,使用飞秒激光构造粗糙结构,制备出具有超疏水性能的微透镜阵列,然后通过氧等离子体改性处理,使其形成水下抗油微透镜阵列。解决了微透镜阵列在实际应用中存在不能抵抗污染的问题,制备的微透镜阵列可以不仅具有优异的光学成像性能同时还具有良好的水下超疏油特性,可被广泛应用于水下光学探测、生物监测等领域。

    毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106338634B

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201510404629.7

    申请日:2015-07-10

    Abstract: 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法,通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内,实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过飞秒激光技术制备石英内部的三维复杂微流道,通过高温金属注入固化技术制备电流传感器传感结构,并结合电极封装工艺完成电流传感器的制备。本发明的制备方法可加工具有复杂结构的电磁传感微器件,本发明提出的具有微型化结构的洛高夫斯基电流传感器可实现数兆赫兹到百G赫兹的交流电信号的测量。

    真三维高集成度温控微反应器及其加工方法

    公开(公告)号:CN109022246A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201811044920.8

    申请日:2018-09-07

    Abstract: 本发明属于光学微加工技术领域,具体涉及真三维高集成度温控微反应器及其加工方法,目的在于解决现有温控微反应器在制备方法、器件结构和控温方式方面所存在的问题。本发明采用飞秒激光湿法刻蚀结合金属微固化工艺制得的真三维高集成度温控微反应器包括设在玻璃芯片内的微直通道和包围在直通道外围的螺旋形金属微线圈。将温控微反应器的反应单元和加热单元集成在一块玻璃芯片中,集成度大大提高;并且由于加热单元包围在反应单元外围,使得微反应器中的温度分布更加均匀,节省了反应时间、提高了反应效率与成功率;通过控制微线圈两端通电电流的大小来实现对微反应器内流体温度的控制,控温方式简单。

    多焦点透镜及其加工设备、加工方法

    公开(公告)号:CN104808268B

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201410044664.8

    申请日:2014-01-29

    Abstract: 本发明提出一种多焦点透镜及加工设备和方法,包括产生飞秒激光脉冲280的飞秒激光发生器210、参数调制光路220、光学CCD230、半透半反镜240、光学聚焦镜头250、硬质基板260以及三维平移台270;飞秒激光发生器210、参数调制光路220、窄带高反片240依次位于同一光路;光学CCD230、半透半反镜240、光学聚焦镜头250、硬质基板260位于同一光路,硬质基板260设置于三维平移台270上。本发明多焦点透镜的加工设备及其加工方法,工艺简单、曲面可控。

    毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106338634A

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201510404629.7

    申请日:2015-07-10

    Abstract: 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法,通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内,实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过飞秒激光技术制备石英内部的三维复杂微流道,通过高温金属注入固化技术制备电流传感器传感结构,并结合电极封装工艺完成电流传感器的制备。本发明的制备方法可加工具有复杂结构的电磁传感微器件,本发明提出的具有微型化结构的洛高夫斯基电流传感器可实现数兆赫兹到百G赫兹的交流电信号的测量。

    一种基于飞秒激光处理和湿法刻蚀的硅微结构加工方法

    公开(公告)号:CN103232023B

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201310141035.2

    申请日:2013-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于飞秒激光处理和湿法刻蚀的硅微结构加工方法:在含氧气体氛围中利用飞秒激光扫描单晶硅基片,在扫描区诱导硅产生折射率变化,再通过氢氟酸湿法刻蚀去除折射率变化区形成硅微结构。本发明的方法工艺简单,与现有技术相比,其不需要使用掩模板定义微结构的分布图样;相对于通常的湿法和干法刻蚀,腐蚀选择性好,刻蚀区域完全由飞秒激光处理区域决定,不存在侧向钻蚀;在深硅槽的加工中可以获得深宽比高、深度大的硅槽。本发明的方法可应用于微机械电子系统。

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