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公开(公告)号：CN114993210A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210494119.3
申请日：2022-05-05
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了一种二维快速控制反射镜角度温漂测量装置，其包括：准直光发射模块、偏振分光系统、温度控制箱、光点位置传感器、数据采集传输模块和主控计算机；待测FSM布置在温度控制箱内；准直光发射模块发出的激光被偏振分光系统分为两部分，分别为S分量和P分量，S分量在经过温度控制箱的入射窗口后到达FSM，经FSM反射后，反射光出射后经偏振分光系统到达光点位置传感器，光点位置传感器将输出的信号转换后经数据采集传输模块上传至主控计算机，主控计算机通过PSD输出光电压和激光光斑的位移量，解算出FSM的角度变化量。本发明能够有效抑制普通分光棱镜所产生的鬼影现象，可以直接解算处FSM在在温度变化情况下的角度变化值。
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公开(公告)号：CN113029198A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110280082.X
申请日：2021-03-16
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明属于光学计量与测量技术领域，具体涉及一种跟踪精度测量仪校准装置，包括：平行光管阵列、跟踪精度探测器组、精密可调轴系和计算机采集处理系统；平行光管阵列用于接收、对准和无畸变聚焦被校准跟踪精度测量仪发出的光信号，将光信号会聚到跟踪精度探测器组的光敏面上；跟踪精度探测器组用于探测来自平行光管阵列的光信号，并转换输出电信号；精密可调轴系用于对平行光管阵列和跟踪精度探测器组进行支撑和高精度调节；计算机采集处理系统用于采集跟踪精度探测器组输出的电信号，进行数据分析处理和存储。其具有工作波长范围宽、动态范围大、跟踪精度特性参数精确测量等主要功能和特点，满足武器型号光电系统跟踪精度测量仪的测量校准需求。
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公开(公告)号：CN105486489B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201510882364.1
申请日：2015-12-04
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提出一种电视成像系统调制传递函数测试装置及方法，属于光学测量技术领域。其特点是将待测电视成像系统放置于由发光强度可调、空间均匀性高的积分球光源照明的准直光学系统中，准直光学系统的焦面放置狭缝靶标。狭缝靶标经过准直光学系统和待测电视成像光学系统后，成像到电视成像系统的靶面上，图像记录与处理系统对狭缝图像进行一系列计算和处理后，获得狭缝靶标的线扩散函数分布以及MTF值，由此完成电视成像系统MTF的测量。
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公开(公告)号：CN119269412A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411306777.0
申请日：2024-09-19
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提供一种椭偏仪光学参数高精度提取方法，解决了现有的椭偏测量光学参数提取方法收敛速度低、鲁棒性低、参数提取精度低且依于初始输入值的的技术问题，具有收敛速度快、鲁棒性高、参数提取精度高、对初始输入值不敏感等优点，可适用于晶圆制造、光学镀膜等领域中薄膜参数的高精度测量的优点，能够实现薄膜厚度、折射率等光学参数的高精度提取。
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公开(公告)号：CN116087146A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211667699.8
申请日：2022-12-23
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，公开了一种红外光学材料折射率温度系数测量装置，包括：光源、单色仪、振荡狭缝、离轴抛物面反射镜、精密温控系统、精密测角系统、探测器、信号处理单元和计算机；将光学材料样块放置在精密温控系统中升温，光源的出射光通过单色仪、振荡狭缝瞄准,离轴抛物面镜准直,半透半反镜透射后进入样块，样块后表面的反射光依次通过半透半反镜反射，反射镜反射，轴抛物面镜聚焦后进入探测器，转换成电信号，经信号处理单元传输到计算机，得到样块在该温度下对应的自准直角值，改变温度并重复上述步骤，得到该光学材料样块的折射率温度系数。本发明具有测量精度高、温度高、波长覆盖范围广等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105486489A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510882364.1
申请日：2015-12-04
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0292
Abstract: 本发明提出一种电视成像系统调制传递函数测试装置及方法，属于光学测量技术领域。其特点是将待测电视成像系统放置于由发光强度可调、空间均匀性高的积分球光源照明的准直光学系统中，准直光学系统的焦面放置狭缝靶标。狭缝靶标经过准直光学系统和待测电视成像光学系统后，成像到电视成像系统的靶面上，图像记录与处理系统对狭缝图像进行一系列计算和处理后，获得狭缝靶标的线扩散函数分布以及MTF值，由此完成电视成像系统MTF的测量。
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公开(公告)号：CN115031662A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210481414.5
申请日：2022-05-05
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了一种非接触式扫描反射镜大动态角度测量装置，包括：激光发射模块、空间滤波器、接收屏、分布式探测系统和主控计算机；激光发射模块产生圆形光斑作为测量目标，经过空间滤波器整形后进入被测扫描反射镜，经被测扫描反射镜反射后在接收屏接收激光光斑；分布式探测系统对接收屏上的激光光斑进行探测分析，将采集到的数据经缓存后上传至主控计算机；当被测扫描反射镜运动时，接收屏上的光斑图像位置发生变化，由此计算被测扫描反射镜的偏转角度。本发明实现了扫描反射镜大动态角度的绝对测量，可以达到亚像素级别的位置精度，并且误差不会随着角度的增加而增加；可以避免自准直仪测量时十字线目标亮度损失较大的问题。
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公开(公告)号：CN113405490A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110673640.9
申请日：2021-06-17
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学计量与测量技术领域，具体涉及一种高分辨率二维快速控制反射镜动态角度测量装置。所述测量装置包括：激光器、空间滤波器、参考反射镜、电动三维位移台、汇聚透镜、高速CCD相机；本发明采用参考反射镜与FSM光路折转的方式，将FSM偏转角度提高为2n倍，可以实现较高分辨率的测量。当FSM的倾斜角度分辨率为0.02″时，当光线反射四次后，其光束最小偏向角约为0.001″，该方法较自准直法的分辨率有明显的提升。本发明采用TEM00模式的激光光斑作为测量目标，可以避免自准直仪测量时十字线目标亮度损失较大的问题。
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公开(公告)号：CN113029341A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110259840.X
申请日：2021-03-10
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01J4/00
Abstract: 本发明属于光学计量领域，公开了一种高精度激光偏振特性测量校准装置，激光器组件发出的光经过激光稳功率仪后，再经过分束镜分束变成两束光，一束作为测量光路，另一束作为监视光路，监视光路的信号由探测放大系统进行探测，测量光路的光束经过偏振控制系统后，由偏振测量系统进行探测；由探测放大系统和偏振测量系统输出的电流信号经过高精度同步采集电路采集处理，利用监视光路中测量得到的激光功率值对测量光路中激光功率测量结果进行动态实时补偿，可以进一步降低激光功率的漂移对测量结果产生影响。本发明解决了目前高精度激光光源偏振度及偏振态的校准难题，具有测量准确度高，应用前景广的特点。
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公开(公告)号：CN114295555A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111572176.0
申请日：2021-12-21
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，公开了一种提高椭偏仪测量精度的方法，该方法的步骤为：(1)偏振片安装；(2)偏振片准直；(3)窄带滤光片安装及准直；(4)偏振片透光轴方向校准；(5)布儒斯特角测量；(6)偏振态数据测量。与现有技术相比，本发明方法过程简单，改善现有测量模式，可提高椭偏仪测量灵敏度和测量精度，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的优化。
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