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公开(公告)号：CN105486748A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610049531.9
申请日：2016-01-21
Applicant: 西安理工大学
CPC classification number: G01N29/04 , G01N29/4418
Abstract: 本发明公开了一种单晶硅棒缺陷超声检测系统，所述收发同体超声探头和超声接收探头的数量均为两个，分别安装在可转动圆桶的左右两侧、前后两侧，所述可转动圆桶的内底面上开设有相互垂直的水平滑轨和竖直滑轨，水平滑轨和竖直滑轨上均滑动安装有带伺服装置的夹持块，所述收发同体超声探头和超声接收探头均通过电动伸缩杆与固定支架的上端相连，还包括数据接收处理模块，人机操作模块，三维模型建立模块，虚拟作动器，虚拟传感器和转移节点模块。本发明采用双树复小波对所接收到的超声回波数据进行了多尺度分解并重构，提高了检测的精确度，且在可在检测过程中生成动态的三维单晶硅棒体，进一步提高了检测的精确度。
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公开(公告)号：CN105486748B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201610049531.9
申请日：2016-01-21
Applicant: 西安理工大学
Abstract: 本发明公开了一种单晶硅棒缺陷超声检测系统，所述收发同体超声探头和超声接收探头的数量均为两个，分别安装在可转动圆桶的左右两侧、前后两侧，所述可转动圆桶的内底面上开设有相互垂直的水平滑轨和竖直滑轨，水平滑轨和竖直滑轨上均滑动安装有带伺服装置的夹持块，所述收发同体超声探头和超声接收探头均通过电动伸缩杆与固定支架的上端相连，还包括数据接收处理模块，人机操作模块，三维模型建立模块，虚拟作动器，虚拟传感器和转移节点模块。本发明采用双树复小波对所接收到的超声回波数据进行了多尺度分解并重构，提高了检测的精确度，且在可在检测过程中生成动态的三维单晶硅棒体，进一步提高了检测的精确度。
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公开(公告)号：CN104007181A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410190832.4
申请日：2014-05-07
Applicant: 西安理工大学
IPC: G01N29/14
Abstract: 本发明公开了一种单晶硅棒缺陷超声检测系统，包括平台转动机构，在平台转动机构上方安装有圆形工作台，圆形工作台的底板沿圆周设置有角度刻度线，圆形工作台的上部为桶体结构，内腔安置待检测的圆柱形单晶硅棒，在单晶硅棒直径对称的圆壁之外分别设置有收发同体超声探头和超声接收探头。本发明还公开了一种单晶硅棒缺陷超声检测方法。本发明的系统及方法，极大提高了单晶硅棒内部缺陷的精准位置和形状，并可对其完成三维重构，得以制定出高精度的单晶硅缺陷检测标准，从而提高切片工序的高效率和高质量。
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