公开(公告)号：CN119521928A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411634349.0

申请日：2024-11-15

Applicant: 西安电子科技大学

Inventor： 胡赵胜 ,  常晶晶 ,  胡星 ,  张博尧 ,  林珍华 ,  苏杰 ,  魏葳

IPC: H10K30/60 ,  H10K30/81 ,  H10K30/40 ,  H10K71/15

Abstract: 本发明属于光电探测技术领域，涉及一种自驱动低维非铅类钙钛矿紫外探测器，器件基于氧化物半导体/低维类钙钛矿II型异质结，包括衬底基片、图案化底电极、氧化物半导体层、低维类钙钛矿层和窗口顶电极；图案化底电极与窗口顶电极图案互补，且均为复合电极，含有分别接触异质结下表面和上表面的扩散阻挡层；窗口区域为探测器的受光区域。器件特点在于结合了异质结内建电场有利于分离光生电荷的优势，同时紫外光可直接入射光吸收体，避免了传输损耗；且采用了反、正溶剂蒸汽辅助梯度退火技术，获得了高质量类钙钛矿薄膜；并利用扩散阻挡层同时阻挡离子在底电极/氧化物及类钙钛矿/顶电极两界面处扩散。本发明工艺简单，器件光响应快、稳定、环保。