基于神经网络的FinFET电磁可靠性预测方法

    公开(公告)号:CN118428214A

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202410507434.4

    申请日:2024-04-25

    Abstract: 本发明公开了基于神经网络的FinFET电磁可靠性预测方法,包括以下步骤;步骤1.使用TCAD为FinFET器件建模并构建电路;步骤2.获取多组HPM电磁脉冲参数、器件外接电阻阻值及其相应的电磁可靠性的指标,作为样本集;步骤3.将样本集按比例随机划分为训练集、验证集、测试集;分别对训练集、验证集的输入参数进行标准化处理,再对训练集和验证集的输出参数进行归一化处理;步骤4.构建神经网络模型;步骤5.输入样本数据集训练神经网络模型,获得训练完成的神经网络校准模型;步骤6.得到预测FinFET器件的电磁可靠性的指标。通过输入HPM电磁脉冲不同的条件以及不同的器件外接电阻,可以快速准确地获得器件烧毁时间,实验中使用的神经网络模型具有较高的预测精度。

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