主训练夹具
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102103868B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201010602046.2

    申请日:2010-12-20

    CPC classification number: G11B5/851 G11B7/266 G11B17/22

    Abstract: 本发明公开一种衬底更换系统中用于训练盘定位的盘载体。盘载体由面板和多个光束传感器组成,所述面板具有配置为容纳盘的盘开口,所述光束传感器布置在盘开口周围以当固定在盘开口内时平行于盘的表面投射光束。多个光束传感器可以由位于面板的正面和背面的每面上的至少一个光束传感器组成。

    主训练夹具
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102103868A

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN201010602046.2

    申请日:2010-12-20

    CPC classification number: G11B5/851 G11B7/266 G11B17/22

    Abstract: 本发明公开一种衬底更换系统中用于训练盘定位的盘载体。盘载体由面板和多个光束传感器组成,所述面板具有配置为容纳盘的盘开口,所述光束传感器布置在盘开口周围以当固定在盘开口内时平行于盘的表面投射光束。多个光束传感器可以由位于面板的正面和背面的每面上的至少一个光束传感器组成。

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