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发明公开
用于校准盘抛光机的测力传感器的系统和方法无效

公开(公告)号：CN105764651A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201480051817.X

申请日：2014-09-25

Applicant: 西部数据传媒公司

Inventor： J·赵

IPC: B24B39/00 , B24B47/26

CPC classification number: G01L25/00 , G01G21/26

Abstract: 本申请提供用于执行设置在盘抛光机内的测力传感器的原地测试的系统和方法。一种此类系统包括附接至盘抛光机的部件的测力传感器托架，其中，所述测力传感器安装在所述测力传感器托架内并具有力测量表面。所述测力传感器托架可以经取向，使得所述力测量表面面向与重力方向大约相反的方向。所述系统还可以包括预选砝码和砝码支架，所述砝码支架经构造容纳预选砝码、安装至所述测力传感器托架并与所述测力传感器对齐。所述预选砝码可以放置在所述砝码支架内和所述测力传感器的力测量表面上。根据需要，可以测试、校准和/或替换所述测力传感器。

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