用于在抛光工艺期间再循环泥浆材料的系统

    公开(公告)号:CN103170913A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201210559989.0

    申请日:2012-12-21

    CPC classification number: B24B57/02

    Abstract: 本发明提供了用于在抛光工艺期间再循环泥浆材料的系统。一种系统包括抛光器和再循环组件,其中抛光器具有入口和排水出口以及泥浆存储罐,泥浆存储罐将包括预选材料的泥浆供给到抛光器的入口,再循环组件包括错流过滤器、密度计、阀门和控制器,其中错流过滤器包括从抛光器的排水出口接收含有预选材料的废料泥浆的入口,其中错流过滤器经配置从而浓缩出口泥浆中的预选材料,密度计经配置从而测量过滤器出口泥浆中的预选材料的浓度,阀门被联接到过滤器出口,并且经配置从而供给泥浆存储罐,并且控制器被联接到密度计和阀门,其中控制器经配置从而当预选材料的浓度达到第一浓度阈值时打开阀门。

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