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公开(公告)号:CN101111630B
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN200680003718.X
申请日:2006-01-30
Applicant: 西门子公司
IPC: C23C24/00
CPC classification number: H05K3/102 , B05B7/1486 , B05B7/1606 , B05B7/1626 , B05B7/168 , B05B7/228 , B05B14/43 , B05B14/48 , B23K26/352 , C23C24/04 , H05K3/14 , H05K2203/107 , H05K2203/1344
Abstract: 本发明涉及一种借助低温气体喷镀为工件(13)镀层的方法。在这里使用低温气体喷嘴(12),它产生一个对准表面(16)的颗粒射束(15)。按本发明规定,借助一个电磁能源,例如激光器(24),在形成的层(20)内加入附加的能量,在这种情况下通过低温气体喷嘴(12)加入颗粒(19)中的能量同样有助于形成镀层。通过借助电磁辐射射线(25)来进行附加激活,使低温喷镀法可以灵活使用。此外,借助激光器(24)可以无需再加工地制成有复杂结构的镀层,例如印制导线。镀层设备同样是本发明的技术主题,它除了低温气体喷嘴(12)外还有一个电磁辐射射线发生器(24),并因而适用于实施所述的方法。
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公开(公告)号:CN101111630A
公开(公告)日:2008-01-23
申请号:CN200680003718.X
申请日:2006-01-30
Applicant: 西门子公司
IPC: C23C24/00
CPC classification number: H05K3/102 , B05B7/1486 , B05B7/1606 , B05B7/1626 , B05B7/168 , B05B7/228 , B05B14/43 , B05B14/48 , B23K26/352 , C23C24/04 , H05K3/14 , H05K2203/107 , H05K2203/1344
Abstract: 本发明涉及一种借助低温气体喷镀为工件(13)镀层的方法。在这里使用低温气体喷嘴(12),它产生一个对准表面(16)的颗粒射束(15)。按本发明规定,借助一个电磁能源,例如激光器(24),在形成的层(20)内加入附加的能量,在这种情况下通过低温气体喷嘴(12)加入颗粒(19)中的能量同样有助于形成镀层。通过借助电磁辐射射线(25)来进行附加激活,使低温喷镀法可以灵活使用。此外,借助激光器(24)可以无需再加工地制成有复杂结构的镀层,例如印制导线。镀层设备同样是本发明的技术主题,它除了低温气体喷嘴(12)外还有一个电磁辐射射线发生器(24),并因而适用于实施所述的方法。
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