公开(公告)号：CN1327044C

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN03818328.5

申请日：2003-06-30

Applicant: 财团法人大阪产业振兴机构

Inventor： 佐佐木孝友 ,  森勇介 ,  吉村政志 ,  川村史朗 ,  大前邦途 ,  岩桥友也 ,  森下昌纪

IPC: C30B29/38 ,  H01L21/205 ,  H01L21/208

CPC classification number: C30B19/02 ,  C30B9/10 ,  C30B9/12 ,  C30B29/403

Abstract: 本发明的目的在于提供能够高收率制造透明、位错密度少、高品质、且大块状的Ⅲ族元素氮化物的单晶的制造方法。该方法是在钠(Na)和选自碱金属(Na除外)和碱土金属之中的至少一种的混合助熔剂(Flux)中，使选自由镓(Ga)、铝(Al)及铟(In)组成的组中的至少一种Ⅲ族元素与氮(N)反应，藉此使Ⅲ族元素氮化物单晶得以生长。本发明的氮化镓单晶为高品质的、透明的大块状单晶，具有极高的实用价值。

公开(公告)号：CN1671892A

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN03818328.5

申请日：2003-06-30

Applicant: 财团法人大阪产业振兴机构

Inventor： 佐佐木孝友 ,  森勇介 ,  吉村政志 ,  川村史朗 ,  大前邦途 ,  岩桥友也 ,  森下昌纪

IPC: C30B29/38 ,  H01L21/205 ,  H01L21/208

CPC classification number: C30B19/02 ,  C30B9/10 ,  C30B9/12 ,  C30B29/403

Abstract: 本发明的目的在于提供能够高收率制造透明、位错密度少、高品质、且大块状的III族元素氮化物的单晶的制造方法。该方法是在钠(Na)和选自碱金属(Na除外)和碱土金属之中的至少一种的混合助熔剂(Flux)中，使选自由镓(Ga)、铝(Al)及铟(In)组成的组中的至少一种III族元素与氮(N)反应，藉此使III族元素氮化物单晶得以生长。本发明的氮化镓单晶为高品质的、透明的大块状单晶，具有极高的实用价值。