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公开(公告)号:CN103946168B
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201280057983.1
申请日:2012-11-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14 , C03B37/014
CPC classification number: C03B20/00 , C03B19/1415 , C03B37/011 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/85
Abstract: 本发明涉及制造合成石英玻璃的方法,其包括步骤:(A)提供液体SiO2原料(105),其包含多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4,(B)将SiO2原料SiO2原料蒸气(107)转化成SiO2颗粒,(D)使所述SiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上,同时形成SiO2灰料体(200),(E)使SiO2灰料体(200)玻璃化,同时形成合成石英玻璃。根据本发明提出,汽化加热的SiO2原料(105)包括在膨胀室(125)中的注射阶段,在此将SiO2原料(105)雾化成微滴,所述微滴具有小于5微米,优选小于2微米的平均直径。(105)汽化成气态SiO2原料蒸气(107),(C)将
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公开(公告)号:CN103946168A
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201280057983.1
申请日:2012-11-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14 , C03B37/014
CPC classification number: C03B20/00 , C03B19/1415 , C03B37/011 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/85
Abstract: 本发明涉及制造合成石英玻璃的方法,其包括步骤:(A)提供液体SiO2原料(105),其包含多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4,(B)将SiO2原料(105)汽化成气态SiO2原料蒸气(107),(C)将SiO2原料蒸气(107)转化成SiO2颗粒,(D)使所述SiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上,同时形成SiO2灰料体(200),(E)使SiO2灰料体(200)玻璃化,同时形成合成石英玻璃。根据本发明提出,汽化加热的SiO2原料(105)包括在膨胀室(125)中的注射阶段,在此将SiO2原料(105)雾化成微滴,所述微滴具有小于5微米,优选小于2微米的平均直径。
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公开(公告)号:CN103946167B
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201280057964.9
申请日:2012-11-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14 , C03B37/014
CPC classification number: C03B37/018 , C03B19/1415 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85
Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:提供液体SiO2-原料,其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分,将所述SiO2-原料汽化成原料蒸气,将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒,使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该液体原料含有附加组分,包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物,其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。
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公开(公告)号:CN103946170A
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201280057970.4
申请日:2012-11-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B37/014 , C03B19/14
CPC classification number: C03B20/00 , C03B19/1415 , C03B37/012 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85
Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:形成含有八甲基环四硅氧烷(D4)作为主要组分(其具有属于其的基准分子量)的SiO2原料流,将所述流送入反应区,在此原料通过热解或水解在非晶SiO2颗粒形成下转化成SiO2,使所述非晶SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,和使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了能制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该原料含有附加聚烷基硅氧烷形式的附加组分,其中以至少50ppm的重量比例包含相对分子量小于基准分子量的轻质聚烷基硅氧烷,并以至少30ppm的重量比例包含相对分子量大于基准分子量的重质聚烷基硅氧烷。
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公开(公告)号:CN103946170B
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201280057970.4
申请日:2012-11-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B37/014 , C03B19/14
CPC classification number: C03B20/00 , C03B19/1415 , C03B37/012 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85
Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:形成含有八甲基环四硅氧烷(D4)作为主要组分(其具有属于其的基准分子量)的SiO2原料流,将所述流送入反应区,在此原料通过热解或水解在非晶SiO2颗粒形成下转化成SiO2,使所述非晶SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,和使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了能制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该原料含有附加聚烷基硅氧烷形式的附加组分,其中以至少50ppm的重量比例包含相对分子量小于基准分子量的轻质聚烷基硅氧烷,并以至少30ppm的重量比例包含相对分子量大于基准分子量的重质聚烷基硅氧烷。
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公开(公告)号:CN104066693A
公开(公告)日:2014-09-24
申请号:CN201280057994.X
申请日:2012-11-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Inventor: H.法比安
IPC: C03B19/14 , C03B37/014
CPC classification number: C03B37/01807 , C03B19/1415 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85
Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:提供液体SiO2-原料,其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分,将所述SiO2-原料汽化成原料蒸气,将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒,使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该液体原料含有附加组分,包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物,其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。
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公开(公告)号:CN103946167A
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201280057964.9
申请日:2012-11-22
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14 , C03B37/014
CPC classification number: C03B37/018 , C03B19/1415 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85
Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:提供液体SiO2-原料,其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分,将所述SiO2-原料汽化成原料蒸气,将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒,使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该液体原料含有附加组分,包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物,其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。
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