通过将二氧化硅灰料体由蒸汽相沉积在基底上制造合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号:CN103946167B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201280057964.9

    申请日:2012-11-22

    Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:提供液体SiO2-原料,其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分,将所述SiO2-原料汽化成原料蒸气,将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒,使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该液体原料含有附加组分,包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物,其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。

    根据灰料法制造合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号:CN103946170A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201280057970.4

    申请日:2012-11-22

    Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:形成含有八甲基环四硅氧烷(D4)作为主要组分(其具有属于其的基准分子量)的SiO2原料流,将所述流送入反应区,在此原料通过热解或水解在非晶SiO2颗粒形成下转化成SiO2,使所述非晶SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,和使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了能制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该原料含有附加聚烷基硅氧烷形式的附加组分,其中以至少50ppm的重量比例包含相对分子量小于基准分子量的轻质聚烷基硅氧烷,并以至少30ppm的重量比例包含相对分子量大于基准分子量的重质聚烷基硅氧烷。

    根据灰料法制造合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号:CN103946170B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201280057970.4

    申请日:2012-11-22

    Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:形成含有八甲基环四硅氧烷(D4)作为主要组分(其具有属于其的基准分子量)的SiO2原料流,将所述流送入反应区,在此原料通过热解或水解在非晶SiO2颗粒形成下转化成SiO2,使所述非晶SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,和使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了能制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该原料含有附加聚烷基硅氧烷形式的附加组分,其中以至少50ppm的重量比例包含相对分子量小于基准分子量的轻质聚烷基硅氧烷,并以至少30ppm的重量比例包含相对分子量大于基准分子量的重质聚烷基硅氧烷。

    通过将二氧化硅灰料体由蒸汽相沉积在基底上制造合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号:CN104066693A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:CN201280057994.X

    申请日:2012-11-22

    Inventor: H.法比安

    Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:提供液体SiO2-原料,其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分,将所述SiO2-原料汽化成原料蒸气,将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒,使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该液体原料含有附加组分,包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物,其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。

    通过将二氧化硅灰料体由蒸汽相沉积在基底上制造合成石英玻璃的方法

    公开(公告)号:CN103946167A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201280057964.9

    申请日:2012-11-22

    Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:提供液体SiO2-原料,其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分,将所述SiO2-原料汽化成原料蒸气,将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒,使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO2灰料体,使所述SiO2灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该液体原料含有附加组分,包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物,其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。

Patent Agency Ranking