公开(公告)号：CN106082607B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201610271680.X

申请日：2016-04-28

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： B.格罗曼 ,  M.泽恩 ,  A.布卢梅瑙

IPC: C03B23/08

CPC classification number: C03B23/08 ,  C03B23/043 ,  C03B23/045 ,  C03B23/053 ,  C03B23/07

Abstract: 本发明涉及用于生产玻璃管的方法和设备。公开了一种用于生产玻璃管的已知方法，包括借助于可动加热区使围绕其旋转轴线旋转的中空圆筒分区加热和软化，其中所述玻璃管由在离心力和/或施加在中空圆筒孔中的内部超压作用下的所软化的区域的径向扩张持续地成型。由此开始，为了指示如下方法：如果可能的话，使得可能在单一成型步骤或者少量成型步骤中将中空圆筒成型为带有大外径和高尺寸精度的玻璃管，根据本发明提出的是提供所述中空圆筒包括确定壁厚相对小的圆周位置；并且在所述旋转中空圆筒的加热和软化期间，仅当或者主要当经过冷却剂源的圆周位置带有相对小的壁厚时，才从所述冷却剂源向所述变形区上分配冷却剂。

公开(公告)号：CN105358494B

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201480039724.5

申请日：2014-07-08

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： B.格罗曼 ,  B.奥伯勒 ,  C.申克 ,  G.费希尔 ,  P.德克莱克 ,  B.弗兰斯 ,  U.莱因 ,  A.拉斯 ,  A.霍夫曼

IPC: C03B23/07 ,  C03B19/14 ,  C03B23/043 ,  C03B23/045 ,  C03C3/06 ,  C03B20/00

Abstract: 已知用于制造大型石英玻璃管的多步成型方法，其中在第一成型步骤中使用成型工具形成具有中间圆筒壁厚和中间圆筒外径的由石英玻璃制成的中间圆筒并随后冷却，并在第二成型步骤中将冷却的中间圆筒的至少一个长度段供应到加热区，在其中逐区加热到软化温度，并在围绕其纵轴旋转的同时成型为具有最终壁厚和最终外径的大型石英玻璃管。几何形状波动随该最终管的外径呈指数型提高。为了由此提供能以经济上合理的花费制造甚至在大于500毫米的大外径下也具有高尺寸稳定性的石英玻璃管的方法，根据本发明建议，该石英玻璃是合成生产的并具有10重量ppm或更低的平均羟基含量，附加条件是在将该中间圆筒分成长度1厘米的长度段时，相邻长度段具有小于2重量ppm的平均羟基含量差异。

公开(公告)号：CN105073662B

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201380068444.2

申请日：2013-12-16

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 ,  赫罗伊斯·坦尼沃有限公司

Inventor： G.L.法塔尔 ,  O.甘斯 ,  K.常

IPC: C03B37/012

Abstract: 本发明提供一种制造光纤预制体或光纤的方法。所述方法包括以下步骤：(a)提供玻璃管和玻璃芯棒；(b)将所述玻璃芯棒插入到所述玻璃管中以形成组装体：(c)加热所述组装体以使所述玻璃管塌缩在所述玻璃芯棒上且黏附到所述玻璃芯棒；和(d)在所述组装体的至少部分的加热期间处理所述玻璃芯棒与所述玻璃管之间的界面间隙。所述界面间隙的处理涉及：(i)在所述界面间隙中建立真空压力，(ii)通过处理气体穿过所述界面间隙持续预定时间增加所述界面间隙的压力，和(iii)在经过所述预定时间之后在所述界面间隙中重建真空压力。

公开(公告)号：CN105316761B

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201510470122.1

申请日：2015-08-04

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： C.申克 ,  G.沙伊希 ,  N-C.尼尔森 ,  W.莱曼 ,  B.弗罗伊登贝格 ,  K.达德齐斯 ,  S.纳多尔尼 ,  F.沃尔尼 ,  G.菲舍尔

IPC: C30B29/06 ,  C30B11/00

Abstract: 本发明公开了硅块、其生产方法、适于实施该方法的透明或不透明熔融硅石的坩埚及其生产方法。在用于生产具有矩形形状的用于硅的晶体生长法中的太阳能坩埚的已知方法中，其包括提供包含内壁的透明或不透明熔融硅石的坩埚基体，提供含有无定形SiO2颗粒的分散体，通过使用该分散体以至少0.1 mm的层厚度将含SiO2浆料层施加至至少一部分的内壁上，干燥浆料层从而形成含SiO2颗粒层并使该含SiO2颗粒层热致密化以形成扩散阻挡层。由此开始，为了提供用于生产太阳能坩埚的廉价方法，所述太阳能坩埚使得可能生长高纯度硅块并具有很少的材料损失，本发明建议所述分散体包含分散液和形成粒度为1μm至50μm的粗粒级和粒度小于100 nm的SiO2纳米颗粒的细粒级的无定形SiO2颗粒，其中基于分散体的固体含量，所述SiO2纳米颗粒的重量百分数为2至15 wt%，并且仅通过在晶体生长法中加热硅使含SiO2颗粒层热致密化为扩散阻挡层。

公开(公告)号：CN105439441B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201510614780.3

申请日：2015-09-24

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： S.奥赫斯 ,  K.贝克

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: G03F1/22 ,  C03B19/06 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C21/007 ,  C03C23/00 ,  C03C23/007 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。

公开(公告)号：CN104671670B

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201410707275.9

申请日：2014-11-28

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： C.申克 ,  G.沙伊希 ,  N-C.尼尔森

IPC: C03C17/02

CPC classification number: H02K17/26 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C17/04 ,  C03C2217/213 ,  C03C2218/11 ,  H02K3/28 ,  H02K5/225 ,  H02K11/0094 ,  H02K11/20 ,  H02K17/22

Abstract: 本发明涉及用于制造由透明或不透明熔融二氧化硅构成的涂覆部件的方法，其包括将SiO2颗粒层施加到基底的涂布表面上的方法步骤，该SiO2颗粒层在自由表面区域中具有相对较大的细粒分数。根据本发明，SiO2颗粒层的施加包括(i)提供含有分散液和无定形SiO2粒子的分散体，所述无定形SiO2粒子形成粒度为1微米至50微米的粗粒级和具有小于100纳米的粒度的SiO2纳米粒子细粒级，(ii)通过浇铸或喷射将所述分散体施加到涂布表面上以形成具有至少0.3毫米的层厚度的浆料层；和(iii)通过以一定速率和方向除去分散液，干燥所述浆料层，所述速率和方向使得在除去分散液的作用下，细粒级富集在所述颗粒层的外部，由此形成铸件表皮。

公开(公告)号：CN104724909B

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201410785839.0

申请日：2014-12-18

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： T.布克瑙尔 ,  R.波尔 ,  R.施滕格 ,  A.伯勒

IPC: C03B7/18

CPC classification number: C03B3/00 ,  C03B5/0336 ,  C03B5/24 ,  C03B17/04

Abstract: 本发明公开了用于生产具有高硅酸成分的玻璃体的竖直坩埚拉制方法。本发明涉及通过从长型的基本圆柱形坩埚抽吸软化玻璃团来生产具有高硅酸含量的玻璃体的方法，其中SiO2颗粒从上方供给到坩埚中，SiO2颗粒被加热到软化温度，从而形成包括熔融表面的软化玻璃团，软化玻璃团经由坩埚的底部开口抽出从而形成玻璃原丝，且玻璃原丝被切割成段以获得玻璃体，其中由于SiO2颗粒的供给形成部分地覆盖熔融表面同时留出熔融边缘的块堆，且其中熔融表面被光学检测。为改善颗粒的熔融表现并抑制或一起防止形成烧结壳，根据本发明提出在熔融表面的光学检测期间，通过SiO2颗粒的供给速率连贯地确定熔融边缘的至少一个子部段的宽度并将宽度设定为目标宽度范围内的值。

公开(公告)号：CN105278006B

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201510360232.2

申请日：2015-06-26

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： K.贝克 ,  S.奥赫斯 ,  S.托马斯

IPC: G02B1/00 ,  G02B1/10 ,  C03B19/06 ,  C03C3/06 ,  C03B29/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: C03B23/04 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/50 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/7095

Abstract: 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大，其特征在于，dCTE最大为至少0.5ppb/K，并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域，其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定，使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。

公开(公告)号：CN104662210B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201380050766.4

申请日：2013-09-17

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： M.许纳曼 ,  T.凯泽 ,  W.勒曼

IPC: C30B15/10 ,  C30B30/06

CPC classification number: C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  Y10T117/1032

Abstract: 在已知的根据切克劳斯基法提拉半导体单晶的方法中，在石英玻璃坩埚中制造半导体熔体并从中提拉半导体单晶。所述石英玻璃坩埚的内壁和所述半导体熔体的自由熔体表面在此在坩埚内壁上径向环绕的接触区彼此接触并分别与熔体气氛接触，由此引发从所述接触区开始的熔体初振动。以在此基础上提供一种方法，其以减少的熔体振动和特别是以简单而短暂的拉晶过程为特征，本发明提出，引发频率彼此不同的初振动。

公开(公告)号：CN103946167B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201280057964.9

申请日：2012-11-22

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： H.法比安 ,  J.勒佩尔

IPC: C03B19/14 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03B37/018 ,  C03B19/1415 ,  C03B37/01413 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/85

Abstract: 制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤：提供液体SiO2-原料，其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分，将所述SiO2-原料汽化成原料蒸气，将所述原料蒸气转化成SiO2颗粒，使所述SiO2颗粒沉积在沉积面上，形成多孔SiO2灰料体，使所述SiO2灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃。由此开始，为了制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体，根据本发明建议，该液体原料含有附加组分，包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物，其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。