公开(公告)号：CN102051599B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201010538504.0

申请日：2010-10-29

Applicant: 通用电气公司

Inventor： B·A·科列瓦 ,  F·R·艾哈迈德 ,  J·A·德卢卡 ,  J·N·约翰逊 ,  J·P·勒蒙 ,  Y·A·奚

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/30

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/228 ,  C23C14/26

Abstract: 本发明涉及用于在衬底上沉积多种材料的方法和系统。提供了一种用于在衬底(100)上沉积两种或更多种材料的系统(10)。系统(10)包括一个或多个接受器(11)，该一个或多个接受器(11)构造成限定用于分别容纳至少第一材料(13)和第二材料(14)的两个或更多个凹部(12)。第一材料和第二材料(13，14)是不同的。系统(10)进一步包括一个或多个加热器，以加热第一材料(13)和第二材料(14)，以使第一材料和第二材料(13，14)升华，以便在衬底(100)上沉积。还提出了一种用于在衬底(100)上沉积两种或更多种材料的方法。

公开(公告)号：CN102051599A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN201010538504.0

申请日：2010-10-29

Applicant: 通用电气公司

Inventor： B·A·科列瓦 ,  F·R·艾哈迈德 ,  J·A·德卢卡 ,  J·N·约翰逊 ,  J·P·勒蒙 ,  Y·A·奚

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/30

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/228 ,  C23C14/26

Abstract: 本发明涉及用于在衬底上沉积多种材料的方法和系统。提供了一种用于在衬底(100)上沉积两种或更多种材料的系统(10)。系统(10)包括一个或多个接受器(11)，该一个或多个接受器(11)构造成限定用于分别容纳至少第一材料(13)和第二材料(14)的两个或更多个凹部(12)。第一材料和第二材料(13，14)是不同的。系统(10)进一步包括一个或多个加热器，以加热第一材料(13)和第二材料(14)，以使第一材料和第二材料(13，14)升华，以便在衬底(100)上沉积。还提出了一种用于在衬底(100)上沉积两种或更多种材料的方法。