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公开(公告)号：CN101465243B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN200810188423.5
申请日：2008-12-22
Applicant: 通用电气公司
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H9/40 , H01H2001/0084 , H01H2057/006
Abstract: 本发明涉及具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS开关(10，30，40)。MEMS开关(10，30，40)包括：衬底(12)，电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个的固定器(18)，以及被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动的栅极驱动器(6)。
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公开(公告)号：CN102034648B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201010500702.8
申请日：2010-09-21
Applicant: 通用电气公司
Inventor： C·F·凯梅尔 , M·F·艾米 , S·班萨尔 , R·R·科尔德曼 , K·V·S·R·基肖尔 , E·S·雷迪 , A·萨哈 , K·苏布拉马尼安 , P·萨克尔 , A·D·科温
CPC classification number: H01H1/0036 , H01H59/0009 , H01H2001/0052 , H01H2001/0084 , Y10T29/49105
Abstract: 本发明涉及开关结构和方法，具体而言，提供了一种装置，例如开关结构(100)，其包括触头(102)和构造成可在第一位置和第二位置之间变形的导电元件(104)，在第一位置上，导电元件与触头分开，而在第二位置上，导电元件接触触头。导电元件基本可由构造成抑制取决于时间的变形的金属材料形成。例如，金属材料可构造成在经受金属材料的屈服强度的至少约25％的应力和低于或等于金属材料的熔化温度的约一半的温度时展现小于10-13s-1的最大的稳态塑性应变率。触头和导电元件可为微机电装置或纳机电装置的一部分。还提供了相关联的方法。
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公开(公告)号：CN102176391B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201010258366.0
申请日：2010-08-13
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2001/0084
Abstract: 本发明涉及一种开关结构，具体而言，提供了一种诸如开关结构(100)的装置，该装置包括触头(102)和导电元件(104)。该导电元件可构造成可选择性地在非接触位置和接触位置之间运动，在非接触位置上，导电元件与触头分开(在一些情况下，分开小于或等于约4μm的距离，而在其它情况下，分开小于或等于约1μm的距离)，在接触位置上，导电元件与触头接触，且与该触头建立电连通。当导电元件设置在非接触位置上时，触头和导电元件可构造成支持在其之间的、带有大于320Vμm-1的量值的电场和/或约330V或更大的电势差。
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公开(公告)号：CN102730620A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210107782.X
申请日：2012-04-05
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01R33/3657 , H01H1/0036 , H01H9/54
Abstract: 本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置，其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外，配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器，其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中，该MEMS装置包括一个或多个无源元件，其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。
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公开(公告)号：CN101244800A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200810074207.8
申请日：2008-02-13
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H9/52 , H01L24/24 , H01L2224/32245 , H01L2224/73267 , H01L2224/92144 , H01L2924/01029 , H01L2924/10253 , H01L2924/12042 , H01L2924/1305 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , Y10T29/49105 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及功率覆盖结构及其制作方法。本发明的一个实施例包括一种MEMS结构，该MEMS结构进一步包括：MEMS器件(240)，其具有其上带有一个或多个连接到MEMS器件(240)的MEMS元件的接触结构(244、245和246)的第一表面；覆盖第一表面在其中限定了开口的介电层(100)，接触结构(244、245和246)通过该开口被暴露；包含从接触结构(244、245和246)延伸通过介电层(100)中的开口并且到达介电层(100)的表面之上的导电材料(174－179)的图案化的金属化层(254、255和256)；以及与金属化层(254、255和256)热连通的第一热沉(190)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101154509A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710152719.7
申请日：2007-07-05
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H01H1/021
Abstract: 提供一种用于控制电流流动的器件。该器件包括第一导体(12)；与第一导体(12)可切换联接从而在与第一导体(12)形成的电连接状态和电断开状态之间进行切换的第二导体(14)。至少一个导体还包括电触点(40)，所述电触点(40)包括具有多个孔(44)的固体基体(42)；以及设置在所述多个孔(44)中的至少一部分孔内的填充材料(46)。填充材料(46)的熔点低于约575K。提供一种制造电触点(40)的方法(50)。该方法(50)包括以下步骤：提供衬底；在衬底上提供多个孔(44)；以及在所述多个孔(44)中的至少一部分孔内设置填充材料。所述填充材料(46)的熔点低于约575K。
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公开(公告)号：CN102730620B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210107782.X
申请日：2012-04-05
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01R33/3657 , H01H1/0036 , H01H9/54
Abstract: 本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置，其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外，配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器，其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中，该MEMS装置包括一个或多个无源元件，其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。
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公开(公告)号：CN101465242B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN200810185380.5
申请日：2008-12-22
Applicant: 通用电气公司
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明涉及具有改进的关态电压控制的MEMS开关。提供了一种MEMS开关(20，30，40)，其包括衬底(28)、耦合到该衬底(28)并且具有第一侧部和第二侧部的可动执行器(22，32，132)、第一固定电极(24)和第二固定电极(27，37，47)，该第一固定电极(24)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第一侧部上以产生第一驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向导电状态，该第二固定电极(27，37，47)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第二侧部上以产生第二驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向非导通状态。
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公开(公告)号：CN101533740B
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN200810188424.X
申请日：2008-12-22
Applicant: 通用电气公司
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0072
Abstract: 本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。
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公开(公告)号：CN102082043A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010586673.1
申请日：2010-11-30
Applicant: 通用电气公司
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H1/0036 , H01H2001/0052 , H01H2001/0084
Abstract: 本发明涉及一种开关结构。提供了一种装置，例如开关结构(100)。该开关结构可包括各自分别设置在衬底(108)上的触头(102)和导电元件(104)。导电元件可基本由金属材料组成，并且可构造成可在第一位置和第二位置之间变形，在第一位置上，导电元件与触头分开一段间距，而在第二位置上，导电元件接触触头且存储机械能。导电元件可进一步构造成使得在介于约室温和金属材料的熔化温度的约一半之间的温度处变形到第二位置上达至少107秒的累计时间之后，间距在没有外力的情况下经过该累计时间改变小于20％。还提供了相关联的方法。
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