用于石英晶圆接合的系统和方法

    公开(公告)号:CN106487347A

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201610776975.2

    申请日:2016-08-31

    Abstract: 在一个实施例中,接合石英晶圆封装包含:第一石英晶圆,其包含至少一个基于石英的装置;第二石英晶圆,其设置在第一石英晶圆之上;以及液晶聚合物(LCP)接合层,其设置在第一与第二石英晶圆之间,其将第一和第二石英晶圆接合在一起。

    具有直插式MEMS开关的多通道继电器组合件

    公开(公告)号:CN107004541B

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201580065801.9

    申请日:2015-10-26

    Abstract: 欧姆RF MEMS继电器包括:以电容耦合Csub的衬底;两个致动元件,其串联电耦合以便定义通道,其中,致动元件配置成被独立地致动或同时地操作。致动元件具有其自身的电容耦合C间隙;通道上的中点与致动元件电气通信;以及锚,其与衬底机械地耦合,并且支承致动元件中的至少一个。而且欧姆RF MEMS继电器包括:输入端口;多个第一MEMS开关,其组成第一切换组,第一切换组与输入端口电气通信,由此定义各自从每个MEMS开关引导的多个通道;以及至少一个出口端口,其沿着远离第一切换组的每个通道,并且,与输入端口电气通信。

    用于减少热变形的机电系统基板附件

    公开(公告)号:CN107430962A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680013454.X

    申请日:2016-02-02

    Inventor: M.F.艾米 Y.林

    Abstract: 本发明涉及一种MEMS开关,其包括基板和形成在基板上的开关结构,其中开关结构进一步包括形成在基板上的导电触点、联接至基板的自补偿锚定结构以及包括第一端部和第二端部的梁,该梁在第一端部处与自补偿锚定结构形成一体并且从所述自补偿锚定结构垂直地向外延伸以及悬挂在所述基板上,使得所述第二端部包括定位在所述导电触点以上的悬臂部分。梁的悬臂部分在基板与开关结构之间的应变不匹配的时间段期间经历变形,以便相对于基板具有起跳角度,并且自补偿锚定结构与悬臂部分垂直地引导应变不匹配的一部分,以便使锚定器弯曲并且补偿悬臂部分的起跳角度。

    集成微机电开关及其相关方法

    公开(公告)号:CN106415772A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201580034300.4

    申请日:2015-06-23

    CPC classification number: H01H59/0009 H01H2001/0084 H01H2239/004

    Abstract: 一种系统包括耦合到彼此的、包括多个门控的多个微机电开关。每一个微机电开关包括布置在基底上的梁电极。梁包括耦合到所述梁电极的锚部分。所述梁包括沿第一方向从所述锚部分延伸的第一梁部分;以及沿与所述第一方向相反的第二方向从所述锚部分延伸的第二梁部分。第一控制电极和第一接触电极被布置在所述基底上,面向所述第一梁部分。第二控制电极和第二接触电极被布置在所述基底上,面向所述第二梁部分。所述第一控制电极和所述第二控制电极被耦合,以形成在所述多个门控之中的门控。所述多个微机电开关以串联安排、并联安排中的至少一个来安排。

    用于减少热变形的机电系统基板附件

    公开(公告)号:CN107430962B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201680013454.X

    申请日:2016-02-02

    Inventor: M.F.艾米 Y.林

    Abstract: 本发明涉及一种MEMS开关,其包括基板和形成在基板上的开关结构,其中开关结构进一步包括形成在基板上的导电触点、联接至基板的自补偿锚定结构以及包括第一端部和第二端部的梁,该梁在第一端部处与自补偿锚定结构形成一体并且从所述自补偿锚定结构垂直地向外延伸以及悬挂在所述基板上,使得所述第二端部包括定位在所述导电触点以上的悬臂部分。梁的悬臂部分在基板与开关结构之间的应变不匹配的时间段期间经历变形,以便相对于基板具有起跳角度,并且自补偿锚定结构与悬臂部分垂直地引导应变不匹配的一部分,以便使锚定器弯曲并且补偿悬臂部分的起跳角度。

    微机电开关及其相关方法

    公开(公告)号:CN103959418B

    公开(公告)日:2016-10-19

    申请号:CN201280059325.6

    申请日:2012-10-25

    Inventor: M.F.艾米

    CPC classification number: H01H59/0009

    Abstract: 开关包括安置于基板上的梁电极。梁包括耦合至梁电极的至少一个锚部分、沿第一方向从至少一个锚部分延伸的第一梁部分以及沿与第一方向相反的第二方向从至少一个锚部分延伸的第二梁部分。第一控制电极安置于基板上,面向第一梁部分。第一接触电极安置于基板上,面向第一梁部分。第二控制电极安置于基板上,面向第二梁部分。第一控制电极和第二控制电极耦合以形成栅极。第二接触电极安置于基板上,面向第二梁部分。

    微机电开关及其相关方法

    公开(公告)号:CN103959418A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201280059325.6

    申请日:2012-10-25

    Inventor: M.F.艾米

    CPC classification number: H01H59/0009

    Abstract: 开关包括安置于基板上的梁电极。梁包括耦合至梁电极的至少一个锚部分、沿第一方向从至少一个锚部分延伸的第一梁部分以及沿与第一方向相反的第二方向从至少一个锚部分延伸的第二梁部分。第一控制电极安置于基板上,面向第一梁部分。第一接触电极安置于基板上,面向第一梁部分。第二控制电极安置于基板上,面向第二梁部分。第一控制电极和第二控制电极耦合以形成栅极。第二接触电极安置于基板上,面向第二梁部分。

    非磁性封装以及制造方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107004642B

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN201580059055.2

    申请日:2015-10-27

    Abstract: 本发明提供一种非磁性密封封装,包括:围绕敞口腔的壁,所述壁具有大体呈平面的非磁性金属密封环,所述非磁性金属密封环以连续环的形式设置成围绕所述壁的上边缘;敏感部件,所述敏感部件接合在所述腔内;以及非磁性盖,所述非磁性盖通过金属密封件密封到所述密封环以封闭所述腔。

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