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公开(公告)号：CN105199610B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201510670609.4
申请日：2015-10-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明属于一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法，所述蓝宝石抛光组合物由下述重量百分含量的原料组成：纳米二氧化硅20%~40%、碱性化合物1%~10%、分散剂0.1%~3%、表面活性剂0.1%~3%、腐蚀抑制剂0.001%~1%、余量为去离子水。本发明通过加入腐蚀抑制剂减少了在高温高压下抛光组合物对蓝宝石晶片的过度腐蚀，使表面不产生麻点和橘皮等过度腐蚀的缺陷，同时引入和腐蚀抑制剂协同作用的表面活性剂，增加抛光组合物的腐蚀选择性，让抛光组合物均匀作用在蓝宝石晶片的表面，实现了在高效抛光的同时得以保证完好的表面质量。
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公开(公告)号：CN105111941B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201510573376.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: H01L21/312
Abstract: 本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液的制备方法，该抛光液由下述重量百分比的原料组成：纳米二氧化硅20－40%；碱性化合物1－10%；分散剂0.1－3%；表面活性剂0.1－3%；保湿成分0.1－3%；吸湿成分0.1－5%；余量为去离子水；具体包括如下步骤：取纳米二氧化硅均匀分散在一定量的去离子水中，然后加入碱性化合物，混匀后加入分散剂和表面活性剂，再次混匀以形成稳定的胶体体系，最后再加入保湿成分、吸湿成分及余量的去离子水，混合均匀即得微结晶蓝宝石抛光液。本发明抛光液不易凝结在机台上，同时不易风干在蓝宝石晶片表面，降低了后期清洗工艺的难度，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN104962199B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510332607.4
申请日：2015-06-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有自清洗作用的抛光剂及抛光液，所述抛光剂包括以下重量份数的组分：二氧化硅5～40份、碱性化合物0.2～10份、椰子酸二乙醇胺缩合物0.001～1份、表面活性剂0.001～0.5份。本发明的抛光液，添加的椰子酸二乙醇胺缩合物可以吸附到有机物和磨料颗粒的表面，大大增加了有机物和磨料颗粒的表面活性，其与其他组分相互配合，协调作用，使抛光液具有自清洗作用；大大减少甚至完全避免了有机物和磨料颗粒在外延晶片表面的粘附；抛光后的晶片表面不会粘附有机物和磨料颗粒，或是仅有极少的粘附，后续勿需再用酸碱清洗，避免了对外延膜层产生腐蚀损坏，简化了清洗工序，节约了清洗成本，适合推广应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105111942B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510575373.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液，其由下述重量百分比的原料组成：纳米二氧化硅 20－40%；碱性化合物1－10%；分散剂0.1－3%；表面活性剂0.1－3%；保湿成分0.1－3%；吸湿成分0.1－5%；余量为去离子水。本发明抛光液在加入保湿成分的同时加入吸湿成分，这样可以在减少水分蒸发的基础上吸收空气中的水分，使抛光液不易凝结在机台上，同时不易风干在蓝宝石晶片表面，降低了后期清洗工艺的难度，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN105111941A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510573376.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液的制备方法，该抛光液由下述重量百分比的原料组成：纳米二氧化硅20－40%；碱性化合物1－10%；分散剂0.1－3%；表面活性剂0.1－3%；保湿成分0.1－3%；吸湿成分0.1－5%；余量为去离子水；具体包括如下步骤：取纳米二氧化硅均匀分散在一定量的去离子水中，然后加入碱性化合物，混匀后加入分散剂和表面活性剂，再次混匀以形成稳定的胶体体系，最后再加入保湿成分、吸湿成分及余量的去离子水，混合均匀即得微结晶蓝宝石抛光液。本发明抛光液不易凝结在机台上，同时不易风干在蓝宝石晶片表面，降低了后期清洗工艺的难度，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN105199610A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510670609.4
申请日：2015-10-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明属于一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法，所述蓝宝石抛光组合物由下述重量百分含量的原料组成：纳米二氧化硅20%~40%、碱性化合物1%~10%、分散剂0.1%~3%、表面活性剂0.1%~3%、腐蚀抑制剂0.001%~1%、余量为去离子水。本发明通过加入腐蚀抑制剂减少了在高温高压下抛光组合物对蓝宝石晶片的过度腐蚀，使表面不产生麻点和橘皮等过度腐蚀的缺陷，同时引入和腐蚀抑制剂协同作用的表面活性剂，增加抛光组合物的腐蚀选择性，让抛光组合物均匀作用在蓝宝石晶片的表面，实现了在高效抛光的同时得以保证完好的表面质量。
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公开(公告)号：CN105111942A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510575373.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液，其由下述重量百分比的原料组成：纳米二氧化硅20－40%；碱性化合物1－10%；分散剂0.1－3%；表面活性剂0.1－3%；保湿成分0.1－3%；吸湿成分0.1－5%；余量为去离子水。本发明抛光液在加入保湿成分的同时加入吸湿成分，这样可以在减少水分蒸发的基础上吸收空气中的水分，使抛光液不易凝结在机台上，同时不易风干在蓝宝石晶片表面，降低了后期清洗工艺的难度，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN104962199A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201510332607.4
申请日：2015-06-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有自清洗作用的抛光剂及抛光液，所述抛光剂包括以下重量份数的组分：二氧化硅5～40份、碱性化合物0.2～10份、椰子酸二乙醇胺缩合物0.001～1份、表面活性剂0.001～0.5份。本发明的抛光液，添加的椰子酸二乙醇胺缩合物可以吸附到有机物和磨料颗粒的表面，大大增加了有机物和磨料颗粒的表面活性，其与其他组分相互配合，协调作用，使抛光液具有自清洗作用；大大减少甚至完全避免了有机物和磨料颗粒在外延晶片表面的粘附；抛光后的晶片表面不会粘附有机物和磨料颗粒，或是仅有极少的粘附，后续勿需再用酸碱清洗，避免了对外延膜层产生腐蚀损坏，简化了清洗工序，节约了清洗成本，适合推广应用。
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