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公开(公告)号：CN115096943B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202210708047.8
申请日：2022-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提出了一种流体磨具均匀性的无损检测装置及测试方法，分别抽取样品中最大组分原料为xmax样品与最小组分原料为xmin样品，依据xmax样品与xmin样品的检测值计算得到相对标准偏差，随后利用绝对均匀状态与50%不均匀状态下两特征点进行线性回归求出均匀性系数，依次抽取n个被检测产品样品，根据检测结果相对标准偏差Sr与均匀性Hg，实现对产品均匀性的评估。本发明大大提升了检测设备的智能化程度与检测效率，降低了检测人员的工作量，保障产品质量均匀性，为其加工均匀稳定性保驾护航，提升客户工件品质，减少返工返修和报废，在检测过程中实现了样品的无损检测，保证检测后的样本可继续使用，降低了检测成本。
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公开(公告)号：CN113265224B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110471142.6
申请日：2021-04-29
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14
Abstract: 本发明涉及一种喷雾型金刚石研磨液，其由以下重量份数的原料组成：水50‑85份，金刚石微粉0.5‑15份，复配型乳化分散剂0.1‑5份，复配型液体增粘剂0.2‑5份，保水剂10‑40份，消泡剂0.001‑0.1份。将该研磨液用于喷雾供液系统时，可有效减少雾化飞散液滴的产生，并可加速液滴沉降，在提升研磨液利用率的同时可以显著避免雾化吸入，从而降低对操作人员的身心伤害。
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公开(公告)号：CN104962199B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510332607.4
申请日：2015-06-16
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有自清洗作用的抛光剂及抛光液，所述抛光剂包括以下重量份数的组分：二氧化硅5～40份、碱性化合物0.2～10份、椰子酸二乙醇胺缩合物0.001～1份、表面活性剂0.001～0.5份。本发明的抛光液，添加的椰子酸二乙醇胺缩合物可以吸附到有机物和磨料颗粒的表面，大大增加了有机物和磨料颗粒的表面活性，其与其他组分相互配合，协调作用，使抛光液具有自清洗作用；大大减少甚至完全避免了有机物和磨料颗粒在外延晶片表面的粘附；抛光后的晶片表面不会粘附有机物和磨料颗粒，或是仅有极少的粘附，后续勿需再用酸碱清洗，避免了对外延膜层产生腐蚀损坏，简化了清洗工序，节约了清洗成本，适合推广应用。
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公开(公告)号：CN105111942B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510575373.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液，其由下述重量百分比的原料组成：纳米二氧化硅 20－40%；碱性化合物1－10%；分散剂0.1－3%；表面活性剂0.1－3%；保湿成分0.1－3%；吸湿成分0.1－5%；余量为去离子水。本发明抛光液在加入保湿成分的同时加入吸湿成分，这样可以在减少水分蒸发的基础上吸收空气中的水分，使抛光液不易凝结在机台上，同时不易风干在蓝宝石晶片表面，降低了后期清洗工艺的难度，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN115725242B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202211577200.4
申请日：2022-12-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高效低损伤金刚石研磨液，由以下重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份；反应型增稠剂1‑10份；减粘流平剂0.1‑5份；润滑剂1‑20份；消泡剂0.001‑0.1份；水：10‑90份。该金刚石研磨液用于双面研磨时，可均匀分布于硬质研磨盘面，无返稀或分布缺失问题发生，可减少划伤产生，避免局部温度过高造成几何参数失控；同时其增稠减粘特性，在形成软性缓冲层保障效率抑制划伤的同时，也可实现研磨液的及时更新，稳定研磨加工性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113267425A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110708474.1
申请日：2021-06-25
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N11/12
Abstract: 本发明提出了一种半固体挤压磨料流软硬度的测试装置及其测试方法，用以解决现有生产中缺乏统一的半固体挤压磨料流产品的软硬度的检测器具和检测方法以及产品合格率较低、加工一致性和加工精度难以控制的技术问题。本发明包括夹持机构、温度控制机构、测试棒、试样筒和计时测量机构；夹持机构固定连接在温度控制机构上，测试棒通过导向机构设置在夹持机构上，测试棒上端与夹持机构相连接，试样筒固定在温度控制机构内，测试棒下端与试样筒相匹配，计时测量机构与夹持机构相连接，计时测量机构与测试棒相匹配。本发明能够为挤压磨料流产品的生产和应用提供可靠性指导，提升挤压磨料流产品质量，改善加工的一次合格率，减少返工返修和报废。
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公开(公告)号：CN105111941A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510573376.6
申请日：2015-09-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种微结晶蓝宝石抛光液的制备方法，该抛光液由下述重量百分比的原料组成：纳米二氧化硅20－40%；碱性化合物1－10%；分散剂0.1－3%；表面活性剂0.1－3%；保湿成分0.1－3%；吸湿成分0.1－5%；余量为去离子水；具体包括如下步骤：取纳米二氧化硅均匀分散在一定量的去离子水中，然后加入碱性化合物，混匀后加入分散剂和表面活性剂，再次混匀以形成稳定的胶体体系，最后再加入保湿成分、吸湿成分及余量的去离子水，混合均匀即得微结晶蓝宝石抛光液。本发明抛光液不易凝结在机台上，同时不易风干在蓝宝石晶片表面，降低了后期清洗工艺的难度，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN115926747A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211571493.5
申请日：2022-12-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: C09K3/14 , C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及一种浓缩型水性研磨助剂，其由以下重量份数的原料组成：去离子水30‑50份，复合型触变剂5‑10份，乳液稳定剂5‑10份，润滑剂20‑30份，杀菌剂1‑5份，消泡剂1‑5份。将本发明浓缩型水性研磨助剂应用于碳化硅、氮化镓晶圆研磨加工，可大大降低直接使用金刚石研磨液成品的加工成本；同时可对金刚石磨料颗粒进行快速分散悬浮，并形成具有触变特性的稳定悬浮液。润滑剂在使用过程中可以有效降低研磨过程中的摩擦阻力，增加润滑性，有效改善研磨表面质量，并大大缩短后道晶圆抛光时间。
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公开(公告)号：CN115725242A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211577200.4
申请日：2022-12-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高效低损伤金刚石研磨液，由以下重量份数的原料组成：金刚石微粉0.5‑15份；反应型增稠剂1‑10份；减粘流平剂0.1‑5份；润滑剂1‑20份；消泡剂0.001‑0.1份；水：10‑90份。该金刚石研磨液用于双面研磨时，可均匀分布于硬质研磨盘面，无返稀或分布缺失问题发生，可减少划伤产生，避免局部温度过高造成几何参数失控；同时其增稠减粘特性，在形成软性缓冲层保障效率抑制划伤的同时，也可实现研磨液的及时更新，稳定研磨加工性能。
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公开(公告)号：CN115096943A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210708047.8
申请日：2022-06-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提出了一种流体磨具均匀性的无损检测装置及测试方法，分别抽取样品中最大组分原料为xmax样品与最小组分原料为xmin样品，依据xmax样品与xmin样品的检测值计算得到相对标准偏差，随后利用绝对均匀状态与50%不均匀状态下两特征点进行线性回归求出均匀性系数，依次抽取n个被检测产品样品，根据检测结果相对标准偏差Sr与均匀性Hg，实现对产品均匀性的评估。本发明大大提升了检测设备的智能化程度与检测效率，降低了检测人员的工作量，保障产品质量均匀性，为其加工均匀稳定性保驾护航，提升客户工件品质，减少返工返修和报废，在检测过程中实现了样品的无损检测，保证检测后的样本可继续使用，降低了检测成本。
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