公开(公告)号：CN102626698B

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201210059116.3

申请日：2007-10-15

Applicant: 量子全球技术有限公司

Inventor： 布里恩·T·韦斯特 ,  卡尔·布鲁克奈尔 ,  舜·吴 ,  罗伯特·哈尼

IPC: B08B3/08 ,  B08B7/00

CPC classification number: B08B7/0021 ,  B08B1/00 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  C23C16/4407 ,  H01J37/32862

Abstract: 本发明涉及从衬底处理部件去除残余物。本发明从具有聚合物涂层于残余物下方的衬底处理部件的表面上去除残余物。一种形式中，以有机溶剂接触该部件表面，以去除该残余物而不伤害或去除该聚合物涂层。该残余物可为处理残余物或黏着剂残余物。可执行清洁处理作为再磨光处理的一部分。另一种形式中，藉由用激光扫描整个部件表面而烧蚀该残余物。又另一种形式中，藉由用等离子体切割器扫描整个部件表面来蒸发该残余物。

公开(公告)号：CN102626698A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210059116.3

申请日：2007-10-15

Applicant: 量子全球技术有限公司

Inventor： 布里恩·T·韦斯特 ,  卡尔·布鲁克奈尔 ,  舜·吴 ,  罗伯特·哈尼

IPC: B08B3/08 ,  B08B7/00

CPC classification number: B08B7/0021 ,  B08B1/00 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  C23C16/4407 ,  H01J37/32862

Abstract: 本发明涉及从衬底处理部件去除残余物。本发明从具有聚合物涂层于残余物下方的衬底处理部件的表面上去除残余物。一种形式中，以有机溶剂接触该部件表面，以去除该残余物而不伤害或去除该聚合物涂层。该残余物可为处理残余物或黏着剂残余物。可执行清洁处理作为再磨光处理的一部分。另一种形式中，藉由用激光扫描整个部件表面而烧蚀该残余物。又另一种形式中，藉由用等离子体切割器扫描整个部件表面来蒸发该残余物。