一种棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法

    公开(公告)号:CN108862281A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201810786559.X

    申请日:2018-07-17

    Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,具体涉及一种棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法。本发明提供的棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法,采用包括三氯氢硅的原料制备棒状多晶硅,将制备棒状多晶硅的尾气中产生含有的二氯二氢硅作为颗粒硅制备步骤的原料,同时,所述颗粒多晶硅制备步骤所得的尾气中包含有用于制备所述棒状多晶硅的原料三氯氢硅。相较于传统的单独棒状多晶硅或颗粒多晶硅生产工艺,本发明所述方法可以联合生产棒状多晶硅和颗粒多晶硅,具有工艺流程短、工艺共容、产业化成本低的优势。本发明产生的两种多晶硅产品具有强烈互补性,可以提升晶体生长环节的生产效率。本发明所述方法是一种绿色节能的多晶硅生产方法。

Patent Agency Ranking