-
公开(公告)号：CN113042461B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202011556941.5
申请日：2020-12-25
Applicant: 韩国机械研究院
Abstract: 本发明涉及一种等离子体清洗装置和具有该装置的半导体加工器械。一种等离子体清洗装置，包括金属室、闸门组件、电介质和高压电极。金属室连接到真空管，并且设置有第一开口，真空管连接加工室和真空泵。闸门组件包括闸门支撑件和闸门，该闸门支撑件围绕第一开口被固定到金属室并具有第二开口，该闸门联接到闸门支撑件并具有关闭第二开口的第一位置和打开第二开口的第二位置，第一位置和第二位置可彼此切换。电介质围绕第二开口联接到闸门支撑件的外部，且高压电极位于电介质的外表面上。
-
公开(公告)号：CN110863989A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201910716516.9
申请日：2019-08-05
Applicant: 韩国机械研究院
Abstract: 根据本发明的一个实施例的真空泵系统，其包含：前端泵浦和后端泵浦，其连接于真空管；以及远程等离子体装置，其设置于真空管的外侧。远程等离子体装置包含：管状接地电极，其围绕形成于真空管的第一开口，并且固定在真空管的外壁上；绝缘体，其结合在接地电极的端部上；以及高压电极，其位于绝缘体的外表面。接地电极包含：第一管状部，其与真空管交叉；以及环状限制部，其与第一管状部的绝缘体侧端部保持距离位于第一管状部的内侧，并且形成有直径小于真空管内径的第二开口。
-
公开(公告)号：CN105013419A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510205427.X
申请日：2015-04-27
Applicant: 韩国机械研究院
CPC classification number: B01D53/323 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , B01D2259/818 , H05H1/2406 , H05H2001/2431 , H05H2001/2456 , Y02C20/30
Abstract: 本发明涉及用于减少有害物质的等离子体反应器。提供了一种通过在真空泵的前端部分分解各种有害物质来减少有害物质的等离子体反应器。用于减少有害物质的等离子体反应器包括接地电极部件、绝缘体和驱动电极。接地电极部件包括位于真空泵的前端部分且具有管状形状的第一接地电极和连接到第一接地电极的侧面的第二接地电极，第一接地电极包括面向真空泵的第一端部部件和在其相对侧的第二端部部件，第二接地电极具有管状形状且转移处理气体。绝缘体被连接地安装到第二端部部件。驱动电极被固定到绝缘体的外表面，在被连接到电源时施加驱动电压，且由于与接地电极部件的电压差在第一接地电极的内部产生了低压等离子体。
-
公开(公告)号：CN105047515B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201510212610.2
申请日：2015-04-29
Applicant: 韩国机械研究院
IPC: H01J37/36
CPC classification number: H01J37/32844 , B01D53/32 , B01D2259/818 , H01J37/32091 , H01J37/32834 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2245/1215 , Y02C20/30 , Y02P70/605
Abstract: 本发明涉及用于减少有害物质的等离子体反应器。提供了一种用于在被安装在处理气体朝向真空泵的排气路径上时减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器。等离子体反应器包括绝缘体、第一接地电极、第二接地电极和驱动电极，该绝缘体具有管形状，处理气体穿过该管形状，该第一接地电极连接到绝缘体的面向处理腔室的前端，该第二接地电极连接到绝缘体的后端且设置有沿处理气体的移动方向面向绝缘体内部的中心的面向部件，该驱动电极被固定到绝缘体的外周表面且被连接到施加AC电压或RF电压的电源。
-
公开(公告)号：CN105013419B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510205427.X
申请日：2015-04-27
Applicant: 韩国机械研究院
CPC classification number: B01D53/323 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , B01D2259/818 , H05H1/2406 , H05H2001/2431 , H05H2001/2456 , Y02C20/30
Abstract: 本发明涉及用于减少有害物质的等离子体反应器。提供了一种通过在真空泵的前端部分分解各种有害物质来减少有害物质的等离子体反应器。用于减少有害物质的等离子体反应器包括接地电极部件、绝缘体和驱动电极。接地电极部件包括位于真空泵的前端部分且具有管状形状的第一接地电极和连接到第一接地电极的侧面的第二接地电极，第一接地电极包括面向真空泵的第一端部部件和在其相对侧的第二端部部件，第二接地电极具有管状形状且转移处理气体。绝缘体被连接地安装到第二端部部件。驱动电极被固定到绝缘体的外表面，在被连接到电源时施加驱动电压，且由于与接地电极部件的电压差在第一接地电极的内部产生了低压等离子体。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103574600B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210573140.9
申请日：2012-12-26
Applicant: 韩国机械研究院
CPC classification number: F23D14/68 , F23C99/001 , F23C2201/20 , F23C2900/9901 , F23D14/22 , F23D14/64 , F23D14/70 , F23D14/84 , F23D2900/00008
Abstract: 本发明涉及一种燃烧设备。提供了用于通过确保更多的时间混合燃料和空气且均匀地混合燃料和空气来减少NOx的产生的燃烧设备。所述燃烧设备包括：改性部分，其被配置在中央以改性所供给的烃基燃料和空气并且把包含氢气的高温改性的气体排放至出口；以及供给部分，其被配置在所述出口的外侧以把燃料和空气喷射至从所述改性部分排放的所述改性气体的一侧，以在与所述出口隔开预设定距离的位置处形成火焰。
-
公开(公告)号：CN103574600A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210573140.9
申请日：2012-12-26
Applicant: 韩国机械研究院
CPC classification number: F23D14/68 , F23C99/001 , F23C2201/20 , F23C2900/9901 , F23D14/22 , F23D14/64 , F23D14/70 , F23D14/84 , F23D2900/00008
Abstract: 本发明涉及一种燃烧设备。提供了用于通过确保更多的时间混合燃料和空气且均匀地混合燃料和空气来减少NOx的产生的燃烧设备。所述燃烧设备包括：改性部分，其被配置在中央以改性所供给的烃基燃料和空气并且把包含氢气的高温改性的气体排放至出口；以及供给部分，其被配置在所述出口的外侧以把燃料和空气喷射至从所述改性部分排放的所述改性气体的一侧，以在与所述出口隔开预设定距离的位置处形成火焰。
-
公开(公告)号：CN110863989B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910716516.9
申请日：2019-08-05
Applicant: 韩国机械研究院
Abstract: 根据本发明的一个实施例的真空泵系统，其包含：前端泵浦和后端泵浦，其连接于真空管；以及远程等离子体装置，其设置于真空管的外侧。远程等离子体装置包含：管状接地电极，其围绕形成于真空管的第一开口，并且固定在真空管的外壁上；绝缘体，其结合在接地电极的端部上；以及高压电极，其位于绝缘体的外表面。接地电极包含：第一管状部，其与真空管交叉；以及环状限制部，其与第一管状部的绝缘体侧端部保持距离位于第一管状部的内侧，并且形成有直径小于真空管内径的第二开口。
-
公开(公告)号：CN113042461A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202011556941.5
申请日：2020-12-25
Applicant: 韩国机械研究院
Abstract: 本发明涉及一种等离子体清洗装置和具有该装置的半导体加工器械。一种等离子体清洗装置，包括金属室、闸门组件、电介质和高压电极。金属室连接到真空管，并且设置有第一开口，真空管连接加工室和真空泵。闸门组件包括闸门支撑件和闸门，该闸门支撑件围绕第一开口被固定到金属室并具有第二开口，该闸门联接到闸门支撑件并具有关闭第二开口的第一位置和打开第二开口的第二位置，第一位置和第二位置可彼此切换。电介质围绕第二开口联接到闸门支撑件的外部，且高压电极位于电介质的外表面上。
-
公开(公告)号：CN103028357B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210279322.5
申请日：2012-07-13
Applicant: 韩国机械研究院
CPC classification number: H01J37/32844 , B01D53/32 , B01D53/70 , B01D2257/2047 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , C23C16/4412 , H01J37/32348 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32834 , H05H1/2406 , H05H2001/2462 , H05H2245/1215 , Y02C20/30 , Y02P70/605
Abstract: 本发明涉及用于污染物的除去的等离子体反应器。提供了用于污染物的除去的等离子体反应器，其被安装在处理室和真空泵之间且除去从处理室放出的污染物。等离子体反应器包括：至少一个介电体，在该介电体中形成了等离子体产生空间；接地电极，其被连接到介电体的至少一端；及至少一个驱动电极，其被固定到介电体的外周表面，且被连接至AC电源单元以接收AC驱动电压。接地电极具有沿着等离子体反应器的纵向方向的非均一直径。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.023 seconds)
