公开(公告)号：CN104561936B

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201410577780.6

申请日：2014-10-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 加藤寿 ,  三浦繁博

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/513 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C16/50 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/4584 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32651 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/32715 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667

Abstract: 本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理方法。该等离子体处理装置包括：旋转台；喷嘴部，其与基板载置区域相对；天线，其具有直线部位和位于在俯视时与直线部位分开的区域的部位，并且，该天线绕沿上下方向延伸的轴线卷绕，用于使供给有气体的处理区域产生感应等离子体；以及法拉第屏蔽件，其具有导电板和狭缝组，该导电板以与该处理区域气密地划分开的方式设置在天线与处理区域之间，用于阻隔由天线产生的电磁场中的电场，该狭缝组以与天线的相应部位分别正交的方式形成在导电板上，用于使电磁场中的磁场通过，至少在直线部位的下方侧形成狭缝组，导电板的不存在狭缝组的部位位于自直线部位的端部弯曲的弯曲部位的下方侧。

公开(公告)号：CN105047515B

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201510212610.2

申请日：2015-04-29

Applicant: 韩国机械研究院

Inventor： 许民 ,  姜宇石 ,  李载玉

IPC: H01J37/36

CPC classification number: H01J37/32844 ,  B01D53/32 ,  B01D2259/818 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32834 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2245/1215 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: 本发明涉及用于减少有害物质的等离子体反应器。提供了一种用于在被安装在处理气体朝向真空泵的排气路径上时减少包括在处理气体中的有害物质的等离子体反应器。等离子体反应器包括绝缘体、第一接地电极、第二接地电极和驱动电极，该绝缘体具有管形状，处理气体穿过该管形状，该第一接地电极连接到绝缘体的面向处理腔室的前端，该第二接地电极连接到绝缘体的后端且设置有沿处理气体的移动方向面向绝缘体内部的中心的面向部件，该驱动电极被固定到绝缘体的外周表面且被连接到施加AC电压或RF电压的电源。

公开(公告)号：CN105793205A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480066235.9

申请日：2014-09-29

Applicant: 康宁公司

Inventor： 丹尼尔·罗伯特·鲍顿 ,  艾琳·莫娜·彼得森

IPC: C03C3/089 ,  C03C3/091 ,  C03B5/00

CPC classification number: C03B5/025 ,  C03B3/026 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667 ,  Y02P40/57

Abstract: 本公开案涉及用于形成预熔和/或熔融玻璃配料的方法，所述方法包括使玻璃配料与等离子体羽流接触达足以形成实质上均质的球形玻璃中间颗粒的滞留时间。所述玻璃配料可以旋流模型在所述等离子体羽流中流动，以便增加滞留时间。所述玻璃中间颗粒可用切向气流冷却，以便在收集容器内产生旋流。在本文中另外公开的是玻璃中间颗粒，所述玻璃中间颗粒包含至少约45重量％的氧化铝和/或二氧化硅以及小于约55重量％的至少一种硼、镁、钙、钠、锶、锡和/或钛的氧化物，其中所述玻璃中间颗粒是实质上均质的，并且其形状为实质上球形的，而且具有从约5微米至约1000微米的平均颗粒大小。

公开(公告)号：CN103155103B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201180037725.2

申请日：2011-08-02

Applicant: EMD株式会社

Inventor： 节原裕一 ,  江部明宪

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/509 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01L21/02104 ,  C23C16/24 ,  C23C16/509 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32834 ,  H01J37/32899 ,  H01J37/32954 ,  H01L21/465 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够根据离解的气体分子的种类或其离解能来容易地控制等离子体中的电子的能量分布的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置(10)具备：等离子体处理室(11)；与等离子体处理室(11)连通的等离子体生成室(12)；用于生成等离子体的高频天线(16)；用于控制等离子体中的电子的能量的等离子体控制板(17)；用于调整等离子体控制板(17)的位置的操作棒(171)及移动机构(172)。在该等离子体处理装置(10)中，仅通过利用移动机构(172)使操作棒(171)沿着长度方向移动来调整高频天线(16)与等离子体控制板(17)之间的距离，就能够控制在等离子体生成室(12)内生成的等离子体的电子的能量分布，因此能够容易地进行与离解的气体分子的种类或其离解能对应的等离子体处理。

公开(公告)号：CN104883881A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201380068973.2

申请日：2013-12-27

Applicant: 国立大学法人东北大学

Inventor： 金子俊郎 ,  加藤俊显

IPC: A01M1/00 ,  A01M17/00 ,  A01N59/00 ,  A01P3/00 ,  A01P7/02 ,  A01P7/04 ,  H05H1/24

CPC classification number: A01N59/00 ,  A01M1/2022 ,  H05H2001/466 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2001/483

Abstract: 技术问题：本发明提供能够高效生成OH自由基，病原菌及害虫的驱除效果优异的病原菌及害虫驱除方法，以及病原菌及害虫驱除装置。解决手段：将水雾等的水导入反应容器(2)，由气体供给部(3)向反应容器(2)供给成为等离子体的气体，对配置在反应容器(2)中的阴极电极(5)与阳极电极(6)之间外加电压，对气体放电的同时生成OH自由基，对被杀菌物或被杀虫物照射OH自由基，来驱除病原菌或害虫。气体为空气、氦气、氩气中的任意一种或这些气体的混合物。也可以通过控制水雾的供给量或气体的供给量，来控制OH自由基的生成量。

公开(公告)号：CN103959919A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201280058528.3

申请日：2012-09-28

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： M.史密茨 ,  C.F.J.洛德维克

IPC: H05H1/30 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/32862 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2001/4675 ,  H05H2001/4682

Abstract: 一种用以产生等离子的装置，该装置包括主等离子源(1)，其布置成产生等离子；中空导引本体(11)，其布置成将由主等离子源产生的等离子的至少一部分导引至副等离子源(25)；以及出口(14)，其用以自该装置发射出至少一部分由该等离子产生的原子基团。

公开(公告)号：CN103766004A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201180073203.8

申请日：2011-08-30

Applicant: 株式会社EMD

Inventor： 节原裕一 ,  江部明宪

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/44 ,  C23C16/509 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32651 ,  C23C14/358 ,  C23C16/509 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H01J2237/0266 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667

Abstract: 本发明提供一种即使薄膜材料附着于表面，也能够抑制高频感应电场的屏蔽或强度的衰减的高频天线。高频天线（10）包括：线状的天线导体（13）；介电体制保护管（14），其设置于天线导体（13）的周围；以及堆积物屏（15），其是设置于介电体制保护管（14）的周围的屏，在天线导体（13）的长度方向的任意的线上，覆盖介电体制保护管（14）的至少1处且具有至少1个开口（153）。虽然薄膜材料附着于保护管及堆积物屏的表面，但是在天线导体的长度方向的至少1处中断。因此，在薄膜材料具有导电性的情况下，能够防止高频感应电场被屏蔽，在不具有导电性的情况下，能够抑制高频感应电场的强度衰减。

公开(公告)号：CN103168336A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201180050356.0

申请日：2011-10-19

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 安德莱斯·费舍 ,  尼尔·马丁·保罗·本杰明

IPC: H01J17/10

CPC classification number: B23K10/00 ,  B23K9/013 ,  B23K2101/40 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32366 ,  H01J37/32825 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667

Abstract: 一种大气电感耦合等离子体炬，其包括在其内产生等离子体的容器和缠绕该容器的外周的线圈。该线圈具有至少两个间隔开的绕组层。该线圈被构造成使得在缠绕相邻的多匝之前缠绕给定的多匝的所有绕组层。该线圈的第一端部耦合到地，并且所述线圈的第二端部被耦合以接收RF驱动信号，该RF驱动信号被配置为点燃等离子体以便处理。

公开(公告)号：CN102421239A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110302693.6

申请日：2011-09-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山泽阳平

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/3211 ,  H05H2001/4667

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置。在感应耦合型等离子体处理装置中，完全地抑制RF天线内的波长效果，并且既在周方向也在径向容易地实现均匀的等离子体处理。在腔室的顶壁部或电介质窗(52)上设置有用于在腔室内生成感应耦合的等离子体的RF天线(54)。该RF天线(54)具有圆环状的内侧线圈(58)和外侧线圈(62)。内侧线圈(58)包括单一的圆形线圈单元(60)。外侧线圈62包括在周方向被分割且整体上形成一圈的两个半圆形线圈单元(64(1))、(64(2))。各个线圈单元(60)、(64(1))、(64(2))与高频供电部(66)电并联连接。

公开(公告)号：CN106458628B

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201580028083.8

申请日：2015-03-31

Applicant: 日清工程株式会社

Inventor： 木下晶弘

IPC: C01G3/00 ,  H05H1/30 ,  H05H1/42

CPC classification number: C01G3/006 ,  C01G3/00 ,  C01P2002/72 ,  C01P2002/84 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/64 ,  C01P2006/40 ,  C01P2006/60 ,  H05H1/28 ,  H05H1/42 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667

Abstract: 金属复合氧化物微粒子以一般式MCu2O2表示，且包含铜，M为Sr及Ba中的至少1种碱土金属，该金属复合氧化物微粒子的粒径为1‑100nm，且具有透明性。M也可以进一步包含Mg及Ca中的至少1种碱土金属。该金属复合氧化物微粒子具有透明性，且其粒度分布宽度窄，具有均一的粒径，是几乎无1μm以上的粗大粒子混入的粒状的p型无机氧化物半导体的微粒子。并且，金属复合氧化物微粒子的制造方法可以容易且确实地制造出具有透明性的粒状的金属复合氧化物微粒子。