公开(公告)号：CN115943735A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN201980048964.4

申请日：2019-07-29

Applicant: 鹰港科技有限公司

Inventor： 艾丽亚·斯劳伯道夫 ,  迪麦西·津巴 ,  约翰·卡斯凯德 ,  肯尼斯·米勒 ,  华采姆·耶格尔 ,  埃里克·汉森 ,  太绅·耶格尔 ,  凯文·马格利 ,  摩根·昆利 ,  康纳·利斯顿

IPC: H05H1/24 ,  H01J37/32 ,  C01B13/11 ,  C01B13/10 ,  H03K5/13 ,  H03K3/02 ,  H03K7/04 ,  H03K7/06 ,  H03K7/08 ,  H03K7/10

Abstract: 一些实施例包括一种高电压脉冲发生电源。所述高电压脉冲发生电源可以包括：高电压脉冲发生器，其具有提供具有大于大约1kV的幅度、小于大约1μs的脉冲宽度和大于大约20kHz的脉冲重复频率的脉冲的输出；等离子体腔室；和电极，其被部署在所述等离子体腔室内，所述电极与所述高电压脉冲发生器的所述输出电耦合，以在所述等离子体腔室内产生电场。