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公开(公告)号：CN114041203A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202080048240.2
申请日：2020-07-01
Applicant: 鹰港科技有限公司
Abstract: 一些实施例包括等离子体系统。等离子体系统包括等离子体腔室、射频驱动器、纳秒脉冲器、第一滤波器及第二滤波器。射频驱动器以大于2兆赫的射频频率来驱动射频突发至等离子体腔室。纳秒脉冲器以脉冲重复频率及峰值电压来驱动脉冲至等离子体腔室。脉冲重复频率小于射频频率，峰值电压大于2千伏特。第一滤波器配置在射频驱动器及等离子体腔室之间。第二滤波器配置在纳秒脉冲器及等离子体腔室之间。
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