公开(公告)号：CN114420545A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210020773.0

申请日：2016-09-07

Applicant: 麦克姆技术解决方案控股有限公司

Inventor： 约翰·克拉森·罗伯茨 ,  凯文·J·林西克姆 ,  艾伦·W·汉森 ,  小詹姆斯·W·库克

IPC: H01L21/02

Abstract: 本文中总体上描述了III族氮化物材料，包括包含III族氮化物材料区域和含硅衬底的材料结构。某些实施例涉及氮化镓材料和包括氮化镓材料区域和含硅衬底的材料结构。

公开(公告)号：CN108352412B

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN201680064508.5

申请日：2016-09-07

Applicant: 麦克姆技术解决方案控股有限公司

Inventor： 约翰·克拉森·罗伯茨 ,  凯文·J·林西克姆 ,  艾伦·W·汉森 ,  小詹姆斯·W·库克

IPC: H01L31/00 ,  H01L21/28 ,  H01L31/0248

Abstract: 本文中总体上描述了III族氮化物材料，包括包含III族氮化物材料区域和含硅衬底的材料结构。某些实施例涉及氮化镓材料和包括氮化镓材料区域和含硅衬底的材料结构。

公开(公告)号：CN108352412A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680064508.5

申请日：2016-09-07

Applicant: 麦克姆技术解决方案控股有限公司

Inventor： 约翰·克拉森·罗伯茨 ,  凯文·J·林西克姆 ,  艾伦·W·汉森 ,  小詹姆斯·W·库克

IPC: H01L31/00 ,  H01L21/28 ,  H01L31/0248

CPC classification number: H01L29/0638 ,  H01L21/26506 ,  H01L21/266 ,  H01L29/0623 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/32 ,  H01L29/41758 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7787

Abstract: 本文中总体上描述了III族氮化物材料，包括包含III族氮化物材料区域和含硅衬底的材料结构。某些实施例涉及氮化镓材料和包括氮化镓材料区域和含硅衬底的材料结构。