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公开(公告)号:CN114190901B
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN202111314381.7
申请日:2021-11-08
Applicant: 黑龙江大学
Abstract: 本发明提供了一种压电式脉搏传感器及其集成化工艺方法,所述压电式脉搏传感器包括力测量结构和抗过载结构,力测量结构安装在抗过载结构上方,力测量结构和抗过载结构均包括力敏感单元,力测量结构还包括柔性覆盖膜,力敏感单元包括弹性衬底、压电结构等组成。在脉搏力作用下,通过柔性覆盖膜将力传导至弹性衬底上,使其发生弹性形变,进而使压电结构产生相应输出电荷,实现脉搏力大小的测量。本发明采用双层力敏感单元堆叠的方式,在所测力过大时,抗过载结构对力测量结构进行支撑保护及过载报警。本发明所述的压电式脉搏传感器可实现人体腕部脉搏的多点独立测量,具有无源、动态响应性好、准确性高等特点,同时,其制作工艺简单,可批量生产。
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公开(公告)号:CN114190901A
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN202111314381.7
申请日:2021-11-08
Applicant: 黑龙江大学
Abstract: 本发明提供了一种压电式脉搏传感器及其集成化工艺方法,所述压电式脉搏传感器包括力测量结构和抗过载结构,力测量结构安装在抗过载结构上方,力测量结构和抗过载结构均包括力敏感单元,力测量结构还包括柔性覆盖膜,力敏感单元包括弹性衬底、压电结构等组成。在脉搏力作用下,通过柔性覆盖膜将力传导至弹性衬底上,使其发生弹性形变,进而使压电结构产生相应输出电荷,实现脉搏力大小的测量。本发明采用双层力敏感单元堆叠的方式,在所测力过大时,抗过载结构对力测量结构进行支撑保护及过载报警。本发明所述的压电式脉搏传感器可实现人体腕部脉搏的多点独立测量,具有无源、动态响应性好、准确性高等特点,同时,其制作工艺简单,可批量生产。
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公开(公告)号:CN217186094U
公开(公告)日:2022-08-16
申请号:CN202122717940.0
申请日:2021-11-08
Applicant: 黑龙江大学
Abstract: 本实用新型提供了一种脉搏传感器,所述脉搏传感器包括力测量结构和抗过载结构,力测量结构安装在抗过载结构上方,力测量结构和抗过载结构均包括力敏感单元,力测量结构还包括柔性覆盖膜,力敏感单元包括弹性衬底、压电结构等组成。在脉搏力作用下,通过柔性覆盖膜将力传导至弹性衬底上,使其发生弹性形变,进而使压电结构产生相应输出电荷,实现脉搏力大小的测量。本实用新型采用双层力敏感单元堆叠的方式,在所测力过大时,抗过载结构对力测量结构进行支撑保护及过载报警。本实用新型所述的压电式脉搏传感器可实现人体腕部脉搏的多点独立测量,具有无源、动态响应性好、准确性高等特点,同时,其制作工艺简单,可批量生产。
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