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公开(公告)号：CN114800277A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210029990.6
申请日：2022-01-12
Applicant: AGC株式会社
IPC: B24B53/017 , B24B53/02
Abstract: 本发明提供修整器、研磨垫的修整方法及玻璃基板的制造方法。金刚石修整器将研磨垫表面磨削除去，因此存在研磨垫的使用寿命变短这样的问题。并且，使用刷子修整器来从研磨垫的微细孔中除去堵塞物质的方法虽然研磨垫的表面难以被磨削，但是存在无法可靠地除去微细孔中积存的堵塞物质这样的问题。本发明的目的在于提供一种能够抑制破坏研磨垫的研磨面或使研磨垫的研磨面变粗糙并且能够除去处于研磨垫的研磨面上的堵塞物质，且能够均匀地修整研磨垫的研磨面的修整器以及修整方法。本发明的修整器的特征在于具有：圆柱状的主体部，具有曲面；以及修整部，形成于所述主体部的曲面，所述修整部距离所述主体部的曲面的高度为1.0mm以上且30mm以下。
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