公开(公告)号：CN107289878B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201710232726.1

申请日：2017-04-11

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 木村友纪 ,  有田祐介 ,  池野田稔 ,  东山明弘 ,  北山大介

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明提供检查精度得到提高的透明板表面检查装置。该装置是检查透明板的主表面的透明板表面检查装置，其具备包含条纹图案的光源、设置于来自所述光源的光在所述主表面反射处的线传感器摄像机、对拍摄的所述条纹图案的图像进行图像处理的图像处理装置，所述线传感器摄像机具有包含在规定方向上排列的多个像素的拍摄元件、使所述条纹图案在所述拍摄元件上成像的透镜，所述光源及所述拍摄元件两者均配置在所述主表面的一侧且各自朝向所述主表面斜向相对，配置于所述规定方向的一端的所述像素在所述主表面的拍摄点的面积(S1)、与配置于所述规定方向的另一端的所述像素在所述主表面的拍摄点的面积(S2(S2>S1))之比(S1/S2)在0.20以上。

公开(公告)号：CN105849503B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201480071278.6

申请日：2014-12-22

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 大音仁昭 ,  菅原彰 ,  有田祐介 ,  池野田稔

IPC: G01B11/25 ,  C03B25/08

Abstract: 测定装置具备：拍摄透明的被测定物的表面及背面处的预定图案的反射像的摄像部；使用摄像部拍摄到的反射像，算出表面或背面的厚度方向的位置的运算部。预定图案包括多个要素，该多个要素的各要素的沿着与该图案的延伸方向垂直的方向形成的一端和另一端沿该延伸方向相互偏离。